如何保持100级洁净室的清洁状态
在处理晶圆时，哪怕只有一粒灰尘，都会带来严重后果——它会影响产品的良率。问题在于，大多数普通加热元件其实并不干净。在需要它们保持无杂质的时刻，这些元件却会释放出气体或微小碎屑。
因此，我们选择使用高纯度的合成石英作为红外灯的材质。这样的材料性能更佳。
为何要使用石英？
我们使用的的是几乎不含杂质的熔融硅石。如果你曾经使用过低品质的石英，就会知道，当温度升高时，那种石英会变得浑浊或出现破损现象。而我们的石英则不会如此。它具有化学惰性，不会与空气发生反应，也不会向晶圆上释放任何颗粒物。
此外，这些红外灯使用的是短波红外线，热量能迅速作用于晶圆表面。由于晶圆不会长时间处于高温状态，因此无需担心热应力或晶圆变形的问题。这种方式既快速又高效。
防止泄漏问题
大部分污染并非来自灯体内部，而是来自灯体的两端。我们通过特殊的密封结构和高质量电极解决了这个问题。这样，就不会有金属蒸汽泄漏出来。
此外，我们还对灯体结构进行了优化，以避免干扰洁净室内的层流状态。毕竟，任何湍流都可能引发灰尘飞散。
需要注意的是，要严格控制功率密度。虽然这些灯能够快速达到目标温度，但随之而来的热量也很高。必须确保屏蔽装置能够有效隔绝热量。如果灯体的散热不良，热量就会扩散到各个部位，从而影响传感器的数据精度。
如何将它们应用到生产线上
你不需要重新设计整个装置。这些灯是可以直接替换现有加热元件的，因此可以轻松安装在现有的加热阵列中。
唯一需要注意的是，必须格外小心地处理这些灯。哪怕只是在一块石英表面留下一个指纹，都可能造成局部过热，从而导致灯体过早损坏。只要保持其清洁状态，它们就能持续数千次循环地正常工作。