Ngăn chặn sự tổn thất năng lượng trong quá trình rửa wafer bán dẫn
Thành thật mà nói, giai đoạn rửa wafer trong nhà máy sản xuất bán dẫn chính là lúc năng lượng bị lãng phí nhiều nhất. Trong nhiều năm qua, chúng ta vẫn phải sử dụng lượng khí nóng lớn để sấy khô wafer. Phương pháp này rất chậm, kém hiệu quả, và tiêu tốn rất nhiều điện năng chỉ để làm nóng không khí – mà hầu hết khí nóng đó lại không có tác dụng gì cả.
Chúng tôi đã tìm ra cách tốt hơn. Thay vì làm nóng toàn bộ căn phòng, chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại chống thấm nước để chiếu trực tiếp vào các vùng ẩm trên bề mặt wafer. Đây là phương pháp hiệu quả hơn nhiều.
Xử lý vấn đề ẩm ướt
Làm việc trong môi trường có độ ẩm cao thật sự là một thách thức lớn đối với các thiết bị điện tử. Chỉ cần một giọt nước rơi vào sợi dây tóc của bóng đèn, bóng đèn sẽ hỏng ngay lập tức.
Đó là lý do tại sao chúng tôi phải sử dụng các vỏ bọc chuyên dụng và các phương pháp kín khí để giữ cho các bộ phận điện tử khô ráo. Mục tiêu là giữ cho các bộ phận bên trong bóng đèn luôn khô ráo, trong khi môi trường xung quanh lại có độ ẩm cao.
Điểm tốt nhất là những bóng đèn này có thể hoạt động rất nhanh – chỉ trong vài giây thôi. Bạn không cần phải để bóng đèn hoạt động ở mức công suất cao trong lúc chờ đợi lô wafer tiếp theo. Bạn chỉ cần bật chúng lên, chúng sẽ đạt đến nhiệt độ cần thiết ngay lập tức. Như vậy, bạn sẽ tiết kiệm được rất nhiều điện năng.
Thiết kế phù hợp với điều kiện thực tế
Việc chống thấm không chỉ liên quan đến phần thủy tinh của bóng đèn mà còn liên quan đến toàn bộ vỏ bọc của nó. Do độ ẩm cao và các chất hóa học được sử dụng trong quá trình rửa wafer, vỏ bọc của bóng đèn cũng bị ảnh hưởng nghiêm trọng. Chúng tôi sử dụng các vật liệu chống ăn mòn để đảm bảo rằng các bộ phận của bóng đèn không bị hỏng sau vài tháng sử dụng.
Nếu bạn đang sử dụng thiết bị cũ, những bóng đèn này có thể thay thế ngay lập tức cho chúng. Bạn chỉ cần thay thế các bộ phận cũ bằng những bóng đèn này là được.
Ngoài ra, còn một ưu điểm nữa: không có sự xáo trộn của dòng khí. Vì bóng đèn hồng ngoại sử dụng bức xạ thay vì luồng khí, nên bạn sẽ không làm ảnh hưởng đến wafer. Môi trường làm việc cũng sẽ yên tĩnh và sạch sẽ hơn.
Nhược điểm: Kiểm soát nhiệt độ
Vấn đề là các bóng đèn hồng ngoại có mật độ cao sẽ trở nên rất nóng. Khi wafer được sấy khô nhanh chóng, vỏ bọc bao quanh chúng sẽ phải chịu áp lực nhiệt lớn. Nếu bạn không lắp đặt đủ quạt làm mát, các bộ phận điện tử của bóng đèn sẽ bị hỏng. Đây là một sự đánh đổi: bạn có thể tiết kiệm năng lượng khi sấy khô wafer, nhưng bạn cũng cần đảm bảo rằng dòng khí lưu thông đúng cách để các bộ phận điện tử không bị hỏng.
Nhưng nếu bạn có thể cân bằng được điều này, bạn có thể loại bỏ hoàn toàn những quạt làm mát cồng kềnh và tiêu tốn nhiều năng lượng. Đó chính là cách nhanh nhất để biến nhà máy sản xuất bán dẫn thành một nhà máy “xanh”, mà không làm giảm tốc độ sản xuất.