Hãy ngừng việc sử dụng phương pháp nung nóng toàn bộ thiết bị để làm khô các wafer MEMS đi: Đó là cách thông minh hơn để làm khô chúng.
Khi bạn muốn làm khô các wafer cảm biến MEMS, điều quan trọng nhất là loại bỏ hết độ ẩm trong chúng. Nhưng vấn đề là hầu hết mọi người đều cố gắng làm điều này bằng cách nung nóng toàn bộ các bộ phận trong máy.
Phương pháp sưởi ấm thông thường chỉ khiến các công cụ bán dẫn đắt tiền của bạn trở thành những “lò nướng” khổng lồ. Các bức tường bên trong máy hấp thụ toàn bộ nhiệt lượng, điều này gây ra nhiều vấn đề. Bạn có thể gặp phải tình trạng “bức tường quá nóng”, khiến người vận hành bị bỏng hoặc các bộ phận bên trong máy bị hư hỏng. Thật là rắc rối.
Chúng tôi đã tìm ra một phương pháp tốt hơn: sưởi ấm bằng tia hồng ngoại có hướng.
Cách thức hoạt động
Hãy tưởng tượng rằng đó là một chiếc đèn pin, nhưng lại phát ra nhiệt. Thay vì làm nóng không khí xung quanh, các đèn hồng ngoại phát ra bức xạ điện từ trực tiếp vào bề mặt wafer.
Bằng cách chọn đúng bước sóng – thường là bước sóng ngắn hoặc trung bình – năng lượng sẽ tập trung vào bề mặt wafer và các chất lỏng còn sót lại trên đó. Năng lượng này không lan ra nơi khác, giúp tránh việc làm nóng các bộ phận khác của máy. Chúng tôi sử dụng các lớp vỏ bằng thạch anh và các bộ phản xạ để giữ cho chùm tia hồng ngoại được tập trung tại mục tiêu cần làm nóng.
Những khó khăn cần lưu ý
Điểm khó ở đây là để làm khô các wafer nhanh, bạn cần rất nhiều năng lượng trong một không gian nhỏ. Mật độ nhiệt cao giúp rút ngắn thời gian xử lý, nhưng điều này cũng mang lại những rủi ro.
Các đèn hồng ngoại có công suất cao sẽ trở nên cực kỳ nóng ở các đầu cáp. Nếu bạn cắm chúng vào mà không kiểm tra xem các dây cáp và đầu nối có thể chịu được dòng điện cao hay không, chúng có thể bị cháy. Đó là một sai lầm phổ biến.
Mặc dù chùm tia hồng ngoại có hướng, nhưng bạn vẫn cần đặt các quạt làm mát ở vị trí phù hợp để đưa nhiệt ra khỏi các đầu đèn. Đừng bỏ qua bước này.
Một môi trường làm việc an toàn hơn cho nhân viên của bạn
Điều tuyệt vời nhất là bạn có thể loại bỏ hiện tượng “lò nướng” bên trong máy. Vì các bức tường không hấp thụ nhiệt thừa, nên bề ngoài máy vẫn mát mẻ khi chạm vào. Bạn không cần phải lắp thêm các lớp bảo vệ nhiệt, cũng không cần lo lắng về việc nhân viên bị bỏng khi tiến hành bảo trì máy.
Đó chỉ là sự thay đổi trong cách suy nghĩ thôi. Thay vì làm nóng toàn bộ căn phòng, hãy chỉ làm nóng phần cần thiết thôi.