생체센서와 칩의 광경화 공정에 있어서 진짜 해결책은 무엇일까요?
생체센서를 제작할 때는 균형을 잘 맞춰야 합니다. 폴리머나 접착제를 경화시키기 위해서는 충분한 열이 필요하지만, 너무 많은 열을 가하면 섬세한 유기층이 손상될 수 있습니다. 이는 정말 까다로운 문제입니다.
그래서 우리는 단파 적외선 램프를 사용합니다. 거대한 오븐을 사용해 공간 전체를 가열하는 대신, 적외선은 에너지를 직접 기판에 전달합니다. 이 방식은 효율적입니다.
공기를 가열하는 것은 그만두세요
전통적인 대류식 건조 방식을 생각해보세요. 작은 웨이퍼를 따뜻하게 하려고 방 전체의 공기를 가열해야 하는데, 이는 큰 낭비입니다. 게다가 공기가 움직일 때 먼지나 오염물질이 작업면에 닿을 수도 있습니다.
적외선은 다릅니다. 전자기파를 이용해 재료가 흡수하는 파장대에 에너지를 직접 전달합니다. 그래서 빠르게 경화될 뿐만 아니라, 웨이퍼당 필요한 에너지도 훨씬 적습니다. 또한 연소 가스나 유해한 용제가 없기 때문에 환경 친화적입니다.
청결을 유지하기
생체센서 제조 과정에서 조금만 먼지가 있어도 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 정말 당황스러운 상황입니다.
적외선 시스템은 폐쇄 루프 방식이므로, 청정실 내부에 먼지가 날아다니는 일이 없습니다. 일정한 열이 지속적으로 공급되기 때문입니다. 또한 파장도 조절할 수 있습니다. 이것이 바로 비결입니다. 열이 너무 깊이 침투하여 회로가 손상되는 것을 막아줍니다.
단점과 그 해결책
물론 모든 것이 완벽한 것은 아닙니다. 고강도 적외선은 매우 강력합니다. 만약 기판이 너무 얇다면, 특정 부분이 과열되거나 기판이 변형될 수 있습니다. 그러니 단순히 설정만 하고 그대로 두면 안 됩니다. 컨베이어의 속도나 램프와 기판 사이의 거리를 정확하게 조절해야 합니다. 그렇지 않으면 가장자리가 과열될 수 있습니다.
제 조언은? 함부로 하지 마세요. 실시간으로 표면 온도를 확인할 수 있는 장비를 사용하세요. 그렇지 않으면 에너지 밀도가 너무 높아서 문제가 생기기 전에 이미 너무 늦어질 수 있습니다.