기계의 벽을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 직접 가열하세요.
반도체 장비 앞에 서서 케이스에서 나오는 열기를 느껴본 적이 있나요? 정말 끔찍한 상황입니다. 일반적인 적외선 램프는 에너지를 사방으로 방출하기 때문입니다. 공간이 좁은 경우, 그 에너지는 마치 핀볼처럼 튕겨다니며 내부 벽을 가열합니다. 결국 장비가 손상되거나, 심할 경우 기술자가 화상을 입을 수도 있습니다. 정말 엉망진창이죠.
우리는 오존이 전혀 발생하지 않는 방식의 적외선을 사용하여 이 문제를 해결했습니다.
실제 작동 원리
대부분의 단파 램프는 사실상 강력한 전구와 같아서 에너지를 사방으로 방출합니다. 하지만 우리는 다른 방식을 사용합니다. 특수한 석영 코팅과 반사판의 구조를 조절함으로써 에너지가 정확히 웨이퍼나 기판에 도달하도록 합니다. 마치 스포트라이트 대신 손전등을 사용하는 것과 같습니다. 그렇게 되면 장비의 외부가 가열되는 것을 막을 수 있습니다.
오존 문제
일반적인 단파 램프는 자외선을 방출합니다. 밀폐된 공간에서는 이 자외선이 산소와 반응하여 오존을 생성합니다. 오존은 섬세한 부품들을 손상시키고, 안전 경보를 계속 발동시켜 모든 것을 멈추게 만듭니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리의 램프는 VUV 파장을 필터링하는 특수한 석영 코팅을 사용합니다. 그러니 오존도, 부식도, 성가신 경보도 없습니다.
한 가지 팁: 고출력 램프를 사용할 때는 냉각 시스템에 주의해야 합니다. 에너지가 한 점에 집중되므로, 팬이 제대로 위치해 있어야 합니다. 그렇지 않으면 램프의 끝부분이 손상될 수 있습니다.
왜 이 방식이 유용한가요?
“뜨거운 벽” 현상이 사라지면 모든 것이 달라집니다. 내부 벽에 두꺼운 단열재를 사용할 필요가 없으므로, 장비의 크기를 줄일 수 있습니다. 게다가, 정비할 때도 기술자들이 장비를 만지는 것을 두려워하지 않아도 됩니다.
또한 처리 속도도 빨라집니다. 공기나 금속 케이스를 가열하는 데 에너지를 낭비하지 않으므로, 재료가 훨씬 빠르게 온도가 올라갑니다. 한 번의 작업당 필요한 전력도 줄어듭니다.
주의사항: 램프가 처음 점화될 때 발생하는 전압 스파이크를 전원 공급 장치가 감당할 수 있는지 반드시 확인하세요. 일단 램프가 정상적으로 작동하기 시작하면 문제없습니다.