공장에서 에너지를 낭비하지 마세요.
웨이퍼를 치료할 때는 더 많은 전력을 사용하면 더 좋은 결과가 나올 것이라고 생각하기 쉽습니다. 하지만 문제는, 그 에너지가 실제로 웨이퍼에 도달하지 않는다면 아무런 소용이 없다는 점입니다.
일반적인 석영 램프를 예로 들어보겠습니다. 이 램프는 360도 방향으로 열을 방출합니다. 만약 그 에너지를 포착할 방법이 없다면, 결국 전기의 절반은 기계 자체를 가열하는 데 쓰이게 됩니다. 이는 시간과 비용의 낭비입니다.
왜 금일까요?
우리는 그러한 에너지 손실을 막기 위해 고순도 금 코팅을 사용합니다. 왜 알루미늄이나 연마된 강철을 사용하지 않는지 궁금할 수도 있습니다. 간단합니다. 금은 적외선을 반사하는 능력이 훨씬 뛰어납니다.
램프 뒤에 얇은 금 층을 배치함으로써, 역방향으로 날아가는 광자들을 다시 웨이퍼 쪽으로 보낼 수 있습니다. 그렇게 되면 넓고 낭비되는 빛 대신, 집중된 열이 웨이퍼에 전달됩니다. 그 결과, 기판에 더 강한 열이 가해지지만, 전기 요금은 그대로입니다.
단점
물론 모든 것이 완벽한 것은 아닙니다. 몇 가지 단점이 있습니다.
많은 에너지가 한 지점에 집중되기 때문에, 램프의 전극과 석영 코팅 부분이 과열됩니다. 만약 냉각 팬이 제대로 작동하지 않으면, 램프의 수명이 예상보다 훨씬 짧아질 수 있습니다.
바닥에 설치하는 방법
좋은 소식은 이러한 램프들이 그대로 교체 가능하다는 것입니다. 전체 장비를 다시 조립할 필요가 없습니다.
우리는 금 층의 형태를 신중하게 설계하여, 열이 웨이퍼의 Z축에 정확하게 전달되도록 합니다. 한 가지 팁: 연결할 때는 전력 공급 장치가 해당 램프의 특정 임피던스를 견딜 수 있는지 반드시 확인하세요. 그렇지 않으면 전압 강하가 발생할 수 있습니다.
제대로 설치한다면, 모든 전력이 웨이퍼를 치료하는 데 사용될 것이며, 클린룸의 공기를 가열하는 데는 사용되지 않을 것입니다.