半導体製造装置での熱の無駄遣いを止めよう
標準的な赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。そのようなランプを狭い機器ケースの中に詰め込むと、その“360度全方位への放熱”が大きな問題となります。
熱が機器の内壁に当たり、筐体全体が巨大なラジエーターのようになってしまいます。これにより、内部の温度が乱れるだけでなく、機器の外側も触れる人にとって危険な状態になります。
私たちは、より良い方法を見つけました。それは、短波長の赤外線ランプに高反射率の金コーティングを施すことです。
なぜ金か？
聞こえは豪華ですが、実際には単なる物理学的な理由に過ぎません。金はアルミニウムや磨かれた鋼鉄よりも大幅に赤外線を反射します。金メッキ加工された反射板を使えば、熱がどこに行くかをコントロールできます。エネルギーの半分が空気や筐体に漏れ出す代わりに、その熱が集中してウェーハや部品に伝わります。
その結果、必要な場所にのみ強力な熱が届き、筐体の壁は冷たいままです。
デメリット（完璧なものはないから）
熱が集中するため、通常はランプの総ワット数を下げても目標の温度を達成できます。これは利点です。しかし、金は敏感な素材です。表面に油や化学物質の蒸気が付着すると、反射率が低下します。そうなると、再び筐体の壁が熱くなってしまいます。安定させるためには、定期的な清掃やクォーツシールドを用いて汚れを防ぐ必要があります。
人々の安全を守る
「無駄な熱」を減らすことは、単に電気代を節約するだけではありません。それは、機器のそばにいる人々の安全を守るためでもあります。熱が機器の表面に留まるようにすれば、メンテナンス時の火傷のリスクもなくなります。また、筐体が過熱しないように巨大な冷却ファンや複雑な液体冷却システムを使う必要もありません。これは、熱管理をより簡単で効率的に行う方法です。