300 मिमी की लाइन पर, सॉफ्ट बेक के दौरान 0.3°C का अंतर ही CD बायास को मानकों से बाहर कर सकता है; इससे पूरा उत्पादन बर्बाद हो सकता है। थर्मल बजट में किसी अन्य चर की आवश्यकता नहीं है। हमारे क्लीनरूम ओवनों में उपयोग होने वाले इन्फ्रारेड हीटर, ऐसी अनिश्चितताओं को दूर करने हेतु डिज़ाइन किए गए हैं।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम ऐसे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं, जिनकी प्रतिक्रिया गति तेज है, एवं जिनका स्पेक्ट्रल नियंत्रण भी बेहतरीन है। ये एमिटर, मानक फोटोरेजिस्ट सामग्रियों के अवशोषण के अनुरूप ही हैं। प्रक्रिया क्षेत्र में, वेफरों की समानता ±0.1°C के भीतर ही रहती है; इससे हर बार बेकिंग प्रक्रिया सुसंगत रहती है।
हीटर का डिज़ाइन क्लास 1–100 क्लीनरूमों में उपयोग हेतु ही किया गया है – कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियाँ, चिकनी सतहें, एवं कणों को ध्यान में रखकर डिज़ाइन किया गया वायुप्रवाह मार्ग। “शून्य कण उत्सर्जन” कोई विज्ञापनीय दावा नहीं है – यह तो हीटर के डिज़ाइन में ही शामिल है, एवं इसकी पुष्टि निरंतर निगरानी द्वारा ही की जाती है।
यह फैक्ट्री में क्यों उपयुक्त है?
यहीं पर फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण होता है – लिथोग्राफी, सॉफ्ट बेक, हार्ड बेक, एवं अन्य प्रक्रियाएँ। इन्फ्रारेड तकनीक, उच्च गति वाले ओवनों में आवश्यक थर्मल प्रतिक्रिया प्रदान करती है; जबकि क्लीनरूम-अनुकूल डिज़ाइन, दोषों को नियंत्रित रखने में मदद करता है।
इसका परिणाम है – कम बर्बाद हुए वेफर, स्थिर मापदंड, एवं नियंत्रित समय-सीमाएँ। ऊर्जा खपत भी कम हो जाती है – हीटर जल्दी ही निर्धारित तापमान तक पहुँच जाता है, एवं वहाँ ही रहता है।
आपको पहले ही क्या जानना आवश्यक है?
हीटर, मानक ओवन इंटरफेसों में ही उपयोग में आ सकता है; लेकिन चेंबर का थर्मल मास एवं लोड पैटर्न फिर भी समानता को प्रभावित करते हैं। वेफरों की संख्या एवं लोड पैटर्न को ठीक से निर्धारित करें, एवं इंटीग्रेशन के दौरान वायुप्रवाह पैटर्न की भी जाँच करें।
सीमित जगहों में, एमिटरों की व्यवस्था के कारण हॉट ज़ोन में थोड़ा संशोधन आवश्यक हो सकता है। हम प्रक्रिया के अनुरूप ही हीटर की व्यवस्था करते हैं – न कि उल्टा।