फैब फ्लोर पर, एक फोटोरेसिस्ट बेक जो 0.2°C भी डिफ्ट करता है, महत्वपूर्ण आयामों को बदल सकता है और कई सारी वाफर्स को स्क्रैप पाइल में भेज सकता है। हमने सेमीकंडक्टर क्लीनरूम टॉली हीटर बनाया है ताकि इस परिवर्तनशीलता को समीकरण से बाहर किया जा सके।
तकनीकी दृष्टि से, लोड के पार तापमान की एकरूपता—±0.1°C—और सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक प्रोफाइल के लिए दोहराए जाने योग्य रैंप नियंत्रण महत्वपूर्ण है। हीटर एक लो-प्रोफ़ाइल, क्लीनरूम-संगत आर्किटेक्चर का उपयोग करता है जिसमें सील किए गए तत्व और HEPA-ग्रेड सामग्री होती है ताकि कणों का निर्माण शून्य के करीब रखा जा सके। एयरफ्लो लैमिनार है, टर्बुलेंट नहीं, ताकि आप निकटवर्ती लिथोग्राफी उपकरणों को न हिलाएँ या वाफर सतह को संदूषित करने का जोखिम न उठाएँ। नियंत्रण लूप को दरवाजा खुलने के बाद तेजी से स्थिर करने के लिए ट्यून किया गया है, क्योंकि लाइन परिवर्तन के लिए तापीय स्थिरता का इंतजार नहीं किया जाता है। यहां बताया गया है कि यह महत्वपूर्ण स्थानों पर क्यों प्रभावी है। हीटर टॉली में बैठता है, वाफर्स को गर्म प्लेट पर पहुँचने से पहले प्री-कंडीशन करता है। यह आपको एक्सपोजर और बेक में एक स्थिर थर्मल बजट देता है, कम पुन: कार्य, और तंग CD नियंत्रण। क्लीनरूम संगतता—क्लास 1 से 100 रेटेड सामग्री और फिनिश—कणों की संख्या को कम रखती है और उपज की रक्षा करती है। आप ऊर्जा भी बचाते हैं, क्योंकि टॉली गर्मी को बनाए रखती है बजाय इसके कि हर वार्म-अप के लिए मुख्य ओवन पर निर्भर रहे। कुछ व्यावहारिक नोट्स। स्थापना के लिए एक समर्पित क्लीन पावर फीड और उचित ग्राउंडिंग की आवश्यकता होती है ताकि माइक्रो-वाइब्रेशन और विद्युत शोर नियंत्रण सेंसर में युग्मित न हो। फुटप्रिंट कॉम्पैक्ट है, लेकिन आपको एयरफ्लो पथों के चारों ओर स्पेस बनाए रखना होगा; अन्यथा एकरूपता प्रभावित होती है। और टॉली स्तर पर नियमित कैलिब्रेशन की योजना बनाएं। यहां तक कि सबसे अच्छे हीटर भी बिना एक परिभाषित मेट्रोलॉजी विंडो के समय के साथ डिफ्ट करते हैं।