लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान 1°C का अंतर तो “छोटा विचलन” ही नहीं है… यह तो उत्पादन प्रक्रिया पर बुरा प्रभाव डालता है। वेफरों के लिए तापमान संतुलन बहुत ही महत्वपूर्ण है; यदि कैबिनेट हीटर तापमान को स्थिर नहीं रख पाता, तो इससे दोष पैदा हो जाते हैं। हमने ऐसा हीटर बनाया है, जो प्रक्रिया की आवश्यकताओं के अनुरूप ही काम करे… यानी तापमान स्थिर रहे, चाहे कमरे का तापमान कुछ भी हो।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
यह उपकरण क्वार्ट्ज आवरण में लगे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों के द्वारा काम करता है… इससे तेज़ प्रतिक्रिया एवं कम ऊष्मा-जमाव होता है। कैबिनेट में तापमान स्थिर रहता है… ±0.1°C के भीतर। इसके अलावा, इसकी पुनरावृत्ति-क्षमता भी बहुत अच्छी है… इससे वेफरों पर कोई दोष नहीं पड़ता। क्लीनरूम की आवश्यकताओं को पूरा करने हेतु क्लास 1–100 संगत सामग्रियों का उपयोग किया गया है… इससे गैसों का उत्सर्जन कम हो जाता है, एवं कणों का निर्माण भी रुक जाता है। यह उपकरण मानक कनेक्टरों के माध्यम से कैबिनेट के नियंत्रण तंत्र से जुड़ता है… इससे तापमान स्थिर रहता है, एवं वेफरों पर कोई दोष नहीं पड़ता।
आखिर क्यों यह उपकरण कैमिकल कैबिनेट में कार्य कर पाता है?
कैबिनेट में, यह हीटर फोटोरेजिस्ट एवं संबंधित सामग्रियों को ठीक उसी तापमान पर रखता है, जो प्रक्रिया हेतु आवश्यक है। इससे वेफरों को गर्म होने में कम समय लगता है… तापमान नियंत्रण भी बेहतर हो जाता है… एवं तापमान-असंतुलन के कारण होने वाले दोष भी कम हो जाते हैं। ऊर्जा-उपयोग भी कम हो जाता है… क्योंकि यह उपकरण तय तापमान पर ही काम करता है… इससे बिजली-खपत कम हो जाती है। विश्वसनीयता के दृष्टिकोण से, इस उपकरण से प्रक्रिया बिना किसी व्यवधान के चलती रहती है… रखरखाव की आवश्यकता भी कम हो जाती है… एवं वेफरों का उत्पादन भी स्थिर रहता है।
आपको कौन-सी व्यावहारिक जानकारियाँ आवश्यक हैं?
इस उपकरण की स्थापना के लिए कैबिनेट में हवा-प्रवाह एवं वेंटिलेशन प्रणाली का ध्यान रखना आवश्यक है। यदि रिसर्कुलेशन प्रणाली सही हो, तो यह उपकरण ठीक से काम करेगा। यह अधिकांश कैबिनेट प्लेटफॉर्मों पर काम करता है… लेकिन यदि आपके पास पुराने नियंत्रण-तंत्र हैं, तो आपको स्थल पर ही इसके इंटरफेस की जाँच करनी होगी। PID प्रोफाइल को समायोजित करने में लगभग एक दिन का समय लगेगा… उसके बाद प्रक्रिया ठीक से चलेगी।