सिलिकॉन वेफरों को गर्म करने का तरीका – बिना क्लीनरूम को खराब किए
जब आप क्लास 100 क्लीनरूम में काम कर रहे होते हैं, तो वहाँ थोड़ी सी भी धूल ही बहुत बड़ी समस्या बन जाती है। अगर आप सिलिकॉन वेफरों को गर्म कर रहे हैं, तो वहाँ कोई भी पदार्थ हवा में नहीं घुलना चाहिए। सामान्य हीटिंग तत्वों का उपयोग तो बिल्कुल ही असंभव है… क्योंकि ऐसे तत्वों से कण हवा में घुल जाते हैं, और ऐसी स्थिति में यह तरीका बिल्कुल ही अनुपयुक्त है।
इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड लैंपों का ही उपयोग करते हैं।
रहस्य तो क्वार्ट्ज में ही है।
हम लगभग शुद्ध शीसा का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि जब चीजें गर्म होती हैं, तो हम नहीं चाहते कि कोई रसायन हवा में घुले। क्वार्ट्ज, टंगस्टन फिलामेंट को सुरक्षित रखने में मदद करता है… इससे फिलामेंट हवा के संपर्क में नहीं आता, और इस तरह कोई धातु-ऑक्साइड वेफर पर नहीं गिरता।
लेकिन यहाँ एक समस्या है… दूरी।
अगर लैंप को बहुत नजदीक लगाया जाए, तो वेफर क्षतिग्रस्त हो सकता है… और अगर बहुत दूर लगाया जाए, तो कमरे में मौजूद हवा ही गर्म हो जाएगी। हम ऐसे लैंपों का उपयोग छोटी-तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड तरंगों हेतु ही करते हैं… क्योंकि ऐसे लैंपों से ऊष्मा सीधे वेफर तक पहुँच जाती है, न कि पूरे कमरे में।
कुछ बातें ध्यान में रखने योग्य हैं…
ऐसे लैंपों से बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न होती है… इसलिए ऊष्मा पहुँचने में बहुत कम समय लगता है। लेकिन इससे पावर सप्लाई पर बहुत दबाव पड़ता है… अपने वायरिंग एवं कनेक्टरों की अवश्य जाँच करें… अगर वे उचित वॉटेज के लिए उपयुक्त न हों, तो वे जल सकते हैं।
इसके अलावा, याद रखें कि उच्च-शुद्धता वाला क्वार्ट्ज बहुत ही भंगुर होता है… इसे लापरवाही से ही इस्तेमाल नहीं किया जा सकता… अगर इसे गलत तरीके से लगाया जाए, तो इसमें सूक्ष्म दरारें पड़ सकती हैं… शुरुआत में तो ऐसी दरारें दिखाई नहीं देतीं, लेकिन जब लैंप तापमान में परिवर्तन करने लगता है, तो वह टूट सकता है।
वास्तव में धूल-रहित वातावरण बनाना…
शुद्धता बनाए रखने हेतु, हमने सभी कार्बनिक पदार्थों को हटा दिया… अब इस लैंप में केवल अकार्बनिक पदार्थ ही हैं।
यह बहुत ही महत्वपूर्ण है… क्योंकि ऐसे में कोई “बर्न-ऑफ” पीरियड ही नहीं होता… पहली बार जब लैंप को चालू किया जाता है, तो कोई भी वोलेटाइल ऑर्गेनिक कंपाउंड क्लीनरूम में नहीं फैलता।
बस लैंप को ठीक से जोड़ दें, दूरी को सही रखें… और आप तैयार हैं।