अपने क्लीनरूम को हमेशा साफ रखना
जब आप वेफरों पर प्रक्रिया कर रहे होते हैं, तो थोड़ी सी धूल भी बड़ी समस्या बन जाती है… यह आपके उत्पादन को नष्ट कर सकती है। समस्या यह है कि अधिकांश मानक हीटिंग तत्व “गंदे” होते हैं… वे ऐसे ही छोट-छोटे कणों को छोड़ते रहते हैं, जबकि उन्हें तो बिल्कुल भी ऐसा नहीं करना चाहिए।
इसीलिए हमने अपने IR लैंपों में उच्च शुद्धता वाले कृत्रिम क्वार्ट्ज का उपयोग किया… ऐसा करने से लैंप बेहतर ढंग से काम करते हैं।
क्वार्ट्ज क्यों महत्वपूर्ण है?
हम लगभग शुद्ध क्वार्ट्ज ही उपयोग में लाते हैं… अगर आपने कभी कम गुणवत्ता वाला क्वार्ट्ज इस्तेमाल किया है, तो आपको पता होगा कि गर्मी लगने पर वह “धुंधला” हो जाता है, या टूटने लगता है… हमारा क्वार्ट्ज ऐसा नहीं करता… यह रासायनिक रूप से स्थिर है… इसलिए यह हवा के साथ प्रतिक्रिया नहीं करता, और वेफर पर कोई कण नहीं गिरता।
इसके अलावा, ये लैंप शॉर्ट-वेव IR ऊर्जा पर काम करते हैं… इससे गर्मी तेजी से वेफर की सतह तक पहुँच जाती है… चूँकि वेफर लंबे समय तक उच्च तापमान में नहीं रहता, इसलिए आपको थर्मल स्ट्रेस या वेफर के विकृत होने की चिंता करने की आवश्यकता नहीं है… यह तो बहुत ही कुशल तरीका है।
रिसाव को रोकना
अधिकांश संदूषण लैंप के बीच में नहीं, बल्कि उसके छोरों पर ही होता है… हमने इस समस्या को विशेष सीलिंग एवं उच्च गुणवत्ता वाले इलेक्ट्रोडों के द्वारा हल किया… रैम्प-अप के दौरान कोई धातुई वाष्प बाहर नहीं निकलती।
हमने लैंपों की संरचना ऐसी ही बनाई है कि वे क्लीनरूम में वायु-प्रवाह में कोई बाधा न डालें… आप तो चाहेंगे ही कि धूल न उड़े।
एक बात ध्यान रखें… अपने पावर डेन्सिटी पर ध्यान दें… ये लैंप तेजी से लक्षित तापमान तक पहुँच जाते हैं… लेकिन इससे बहुत ही अधिक ऊर्जा उत्पन्न होती है… अपने शील्डिंग को सही तरीके से डिज़ाइन करें… अगर चेसिस में वेंटेशन न हो, तो गर्मी हर जगह फैल जाएगी, और सेंसरों के पढ़ने में गड़बड़ी हो जाएगी।
इन्हें अपनी लाइन में लगाना
आपको अपनी पूरी लाइन को पुनः डिज़ाइन करने की आवश्यकता नहीं है… हमने इन्हें ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि वे आपकी मौजूदा हीटिंग सिस्टम में ही आसानी से लग सकें।
एकमात्र समस्या यह है कि आपको इनकी देखभाल बहुत ही सावधानी से करनी होगी… वास्तव में, क्वार्ट्ज पर एक ही उंगली का निशान भी गर्मी का कारण बन सकता है… इससे लैंप जल्दी ही खराब हो जाएगा।
इन्हें साफ रखें… तभी ही वे हजारों बार ठीक से काम करेंगे।