Stop met het opwarmen van de lucht (en begin in plaats daarvan het gewenste onderdeel op te warmen) In een schone ruimte voor halfgeleiders is het...

Het juiste niveau van warmte voor de wafer bereiken Wanneer je met infraroodlampen werkt in een schone ruimte, is het doel eenvoudig: de warmte...

Waarom we ovens vervangen door IR-technologie in de fabriek Als je momenteel je schone ruimte aan het upgraden bent, voel je waarschijnlijk druk. Je...

Op een lijn van 300 mm kan een verschil van 0,3 °C tijdens het zachte bakproces ertoe leiden dat de specificaties voor de CD-bias niet meer worden...

Op de productievloer kan een fotoresist-bak die zelfs maar 0,2 °C afwijkt, kritische afmetingen beïnvloeden en een heleboel wafers naar de afvalberg...