Di ruang pengeringan wafer tersebut, alat pengering wafer terletak tepat di antara laluan putaran wafer dan papan panas. Jika lampu yang digunakan tidak stabil, maka keseragaman suhu akan terganggu. Suhu yang diperlukan untuk proses pengeringan juga akan berubah-ubah, dan ini akan menyebabkan perubahan pada dimensi wafer. Akibatnya, wafer akan menjadi rosak, memerlukan pembaikan, dan masa henti operasi yang tidak dijangka akan berlaku.
Apa yang penting di sebaliknya
Kami menghasilkan mentol pengganti untuk alat pengering wafer yang menggunakan sumber cahaya halogen dengan kawalan spektrum yang ketat. Mentol ini tersedia dalam bentuk gelombang pendek dan gelombang sederhana. Kulit luar mentol ini bersih, tanpa pelepasan gas yang banyak, dan tidak menghasilkan zarah-zarah berbahaya. Stabiliti keluaran cahaya adalah sekitar ±0.1°C, dan profil haba tetap stabil dari satu sesi ke sesi yang lain. Mentol ini boleh beroperasi pada voltan 100–240 V, dengan soket dan konektor yang standard. Jangka hayatnya melebihi 5,000 jam, dengan penurunan keluaran cahaya kurang dari 5%. Dengan itu, keperluan untuk menukar mentol dapat dikurangkan, begitu juga risiko penghasilan zarah-zarah berbahaya.
Mengapa ia efektif dalam proses pengeluaran
Dalam bilik bersih kelas 1–100, cahaya yang dihasilkan oleh mentol ini membantu menjaga jumlah zarah-zarah berbahaya pada tahap yang rendah, sekaligus melindungi lapisan fotorezist. Ketepatan suhu pula memastikan proses pengeringan berjalan dengan baik, sehingga mengurangkan kecacatan yang disebabkan oleh ketidakseragaman suhu semasa proses pengeringan. Penggunaan tenaga juga dapat dikurangkan kerana cahaya yang dihasilkan lebih stabil dan efisien. Jangka hayat yang panjang bermakna masa antara setiap kali perlu melakukan penyelenggaraan menjadi lebih lama. Kelebihannya adalah proses pengeluaran dapat berjalan lancar, gangguan dapat dikurangkan, dan masa penyelenggaraan dapat diramalkan.
Butiran praktikal
Pastikan panjang mentol, kuasa, dan jenis konektor sesuai dengan peralatan asalnya. Jika reflektor atau soket tidak sesuai, ia akan menyebabkan pusat panas yang berlebihan. Pastikan spektrum cahaya yang dihasilkan sesuai dengan proses pengeluaran yang dijalankan. Gelombang pendek sesuai untuk pemanasan permukaan yang cepat, manakala gelombang sederhana lebih sesuai untuk proses pengeringan secara menyeluruh. Biasanya, masa yang diperlukan untuk mencapai suhu yang stabil adalah sekitar 15 minit. Oleh itu, rancanglah waktu pertukaran mentol semasa waktu rehat yang telah ditetapkan. Gunakan sarung tangan semasa mengendalikan mentol ini, dan ikuti prosedur keselamatan yang betul. Cap jari pada permukaan kuarsa mungkin kelihatan tidak berbahaya, tetapi selepas proses pemanasan, ia boleh bertukar menjadi sumber zarah-zarah berbahaya.