Cara Memanaskan Wafer Silikon Tanpa Merosakkan Bilik Bersih
Ketika bekerja di bilik bersih kelas 100, setiap zarah debu yang kecil sekalipun boleh menyebabkan masalah besar. Hanya satu zarah saja sudah cukup untuk merosakkan proses pengeluaran wafer silikon. Jika anda ingin memanaskan wafer silikon, pastikan bahan-bahan yang digunakan tidak melepaskan zarah-zarah atau gas ke dalam udara. Eleman pemanas biasa? Tolak sahaja. Ia akan melepaskan zarah-zarah, dan ini tentunya tidak boleh diterima dalam suasana bilik bersih seperti ini.
Oleh itu, kami menggunakan lampu inframerah yang diperbuat daripada kuarsa sintetik berkualiti tinggi. Rahsianya terletak pada kuarsa tersebut. Kami menggunakan silika yang hampir bebas daripada sebarang kekotoran. Mengapa? Kerana apabila suhu meningkat, kita tidak mahu bahan kimia keluar dari lampu tersebut. Lapisan kuarsa berfungsi sebagai penutup yang rapat untuk filamen tungsten. Ini memastikan filamen tidak bertindak balas dengan udara, sekali gus mengelakkan oksida logam daripada jatuh ke atas wafer.
Namun, ada satu perkara yang perlu diberi perhatian: jarak antara lampu dan wafer. Jika lampu dipasang terlalu dekat, ia akan merosakkan wafer atau menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas. Jika pula lampu terlalu jauh, tenaga yang digunakan hanya akan membantu memanaskan udara di dalam bilik tersebut. Kami menggunakan lampu inframerah gelombang pendek – cara yang lebih efektif, kerana haba akan sampai terus ke wafer, bukannya memanaskan seluruh bilik.
Beberapa perkara yang perlu diingat:
Lampu ini menghasilkan haba yang sangat tinggi. Oleh itu, masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer sangat cepat. Namun, ini memberi tekanan yang besar pada sistem bekalan kuasa. Pastikan kabel dan sambungan anda sesuai dengan kuasa yang diperlukan. Jika tidak, kabel tersebut akan rosak.
Selain itu, ingatlah bahawa kuarsa berkualiti tinggi agak rapuh. Ia tidak boleh diperlakukan secara sembarangan. Jika pemasangan dilakukan dengan kasar, ia akan retak. Anda mungkin tidak akan melihat retakan tersebut pada mulanya, tetapi apabila lampu mula beroperasi, ia akan pecah.
Mengekalkan kebersihan bilik bersih
Untuk memastikan tiada sebarang kotoran, kami telah menghilangkan semua bahan pengikat dan bahan tambahan yang bersifat organik. Semua komponen yang digunakan adalah bahan anorganik. Ini sangat penting, kerana ia memastikan tiada bahan berbahaya yang terhasil ketika lampu beroperasi. Anda hanya perlu menyambungkan lampu tersebut, menetapkan jarak yang sesuai, dan semuanya akan berjalan lancar.