בשטח הייצור, שימוש בחוטי טונגסטן בעלי גודל 5 ננומטר מונע את השינויים באחידות הטמפרטורה. תהליכי ייבוש הוופר, וכן תהליכי חימום שונים, אינם מסוגלים לסבול שינויים כאלה. אם הנורה מפסיקה לעבוד כראוי, עלולות להופיע בעיות כמו חוסר הידבקות טובה של החומרים, וכן חלקיקים שעלולים לפגוע בכל המוצרים שנוצרו.
מה חשוב מבחינה טכנית? נורות הקוורץ שלנו פולטות אור אינפרא-אדום בגלים קצרים, שמסייע להסרת הממסים מהחומרים, מבלי לפגוע בפולימרים. גאומטרית החוטים והמעטפת הקוורצית מותאמים כך שהאור יהיה יציב לאורך אלפי שעות. באזור המואר, אנו שומרים על אחידות טמפרטורה של ±0.1°C, והחזריות של התהליך נשארת גבוהה. העיצוב של הנורות מונע היווצרות חלקיקים, והחומרים בהן מתאימים לשימוש בחדרי ניקיון ברמה של Class 1.
למה זה עובד בפועל? בתהליך ייבוש הוופר, התגובה המהירה של האור האינפרא-אדום מקצרת את זמן החימום ומפחיתה את הסיכון לספיגה מחודשת של לחות לפני הליתוגרפיה. בתהליכי חימום אחרים, ניתן לשלוט בתהליך האידוי של הממסים ולשמור על אחידות בממדים החשובים של החומרים. בתהליכי חימום קיצוניים, החומרים מתייצבים מבלי לסבול ממתחים או הפרדה של החומרים. התוצאה היא פחות צורך בתיקונים, שיעור ההצלחה בתהליך גבוה יותר, ואחידות טמפרטורה גבוהה משמרת לאורך זמן. צריכת האנרגיה גם היא יורדת, מכיוון שהנורה מחממת את החומרים רק כשצריך, ושומרת על טמפרטורה קבועה עם פחות סטיות.
אילו דברים צריך לקחת בחשבון? נורות אלה דורשות מחזירי אור מתאימים ומקורות אנרגיה יציבים; הן רגישות לשינויים במתח החשמלי ולשינויים טמפרטורתיים. יש לתכנן תהליכי קירור מבוקרים והגנה כדי שהאור האינפרא-אדום לא יפגע בחומרים הסמוכים. כאשר הנורות מותקנות בצורה נכונה, הן יכולות לעבוד 24/7 לאורך זמן רב, אך עדיין נדרשות פעולות תחזוקה קבועות כדי לשמור על התהליך ברמה הרצויה.