בחדרי העיבוד, שינוי של 0.1°C בטמפרטורה במהלך תהליך האפייה של הפוטורזיסט יכול לפגוע באחידות העיבוד. שינוי כזה יכול לגרום לבזבוז של שעות עבודה רבות. לכן פיתחנו מנגנון ויסות הכוח של SCR, כדי לשמור על טמפרטורה קבועה – שעה אחר שעה, שנה אחר שנה.
מבחינה טכנית, מה שחשוב הוא שהמערכת תשמור על טמפרטורה קבועה, גם כאשר המתח החשמלי משתנה. נקודת הוויסות נשארת בטווח של ±0.1°C לאורך כל תהליך האפייה, כך שהתהליך יהיה חזרתי ואחיד.
המערכת מיועדת לשימוש בחדרי עיבוד נקיים מסוג Class 1–100, כאשר אין יצירת חלקיקים או גזים שעלולים לפגוע בתהליך. תיקון גורם ההספק ושימוש במערכות המרה יעילות מפחיתים את צריכת האנרגיה. ראש המנורה מסוגל לעמוד בשינויי טמפרטורה חדים, מבלי להישבר או להתפרק.
זה עובד טוב בתהליך עיבוד הוופרים, מכיוון שאחידות הטמפרטורה קריטית לשליטה באיכות העיבוד. עם מנגנון הוויסות של SCR, טמפרטורת המנורה נשארת קבועה, כך שפרופילי הפוטורזיסט נשארים אחידים מלוט ללוט. זה מאפשר תהליך עיבוד צפוי, פחות צורך בעיבוד חוזר, ופחות בזבוז.
המערכת מיועדת לפעולה 24/7, ללא זמן עצירה בלתי צפוי, עם זמני שירות ארוכים, וטמפרטורה יציבה לאורך יותר מ-5,000 שעות. בפועל, זה אומר יעילות גבוהה, בלי צורך באחסון של חלקי חילוף.
כמה הערות פרקטיות: המערכת זקוקה לאספקת חשמל נקייה ולחיבור נכון לקרקע, כדי למנוע הפרעות חשמליות. אם אתם משלבים את המערכת בתהליכי אפייה קיימים, יש לבצע בדיקות ראשוניות כדי להתאים את קבועי ה-PID למצב הספציפי של המנורה.
ניתן לבצע בדיקות איכות בתוך יום אחד. יש לצפות לעלייה קלה בטמפרטורה בלוט הראשון, עד שהמערכת תתאזן. לאחר ההתאמה, התהליך יהיה חזרתי, עם מינימום התערבות.