In der Fertigungshalle reicht bereits eine Temperaturschwankung von 0,1 °C während des Trocknungsprozesses des Photoresists aus, um die Gleichmäßigkeit der Schichtdicke sowie die Qualität der Produkte zu beeinträchtigen. Eine solche Störung bedeutet, dass Stunden an Arbeit verloren gehen. Deshalb haben wir einen SCR-Stromregler entwickelt, der dafür sorgt, dass die Temperatur konstant bleibt – Schicht für Schicht, Jahr für Jahr.
Was technisch wichtig ist: Wir nutzen einen Silizium-gesteuerten Gleichrichter mit Rückkopplungsschleife. Dadurch bleibt die Ausgangsleistung stabil, auch wenn die Netzspannung schwankt. Der Zielwert bleibt dabei innerhalb von ±0,1 °C über die gesamte Trocknungszeit hinweg konstant. Dadurch können die Trocknungsprozesse wiederhbar ablaufen.
Das Gerät ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet – es erzeugt keine Partikel und keine Gase, die die strengen Anforderungen überschreiten. Die Leistungsfaktorkorrektur sowie effiziente Schaltvorgänge reduzieren den Energieverbrauch. Zudem kann die Lampenstufe schnelle Temperaturschwankungen aushalten, ohne zu beschädigen.
Warum das bei der Waferbearbeitung funktioniert: Die thermische Gleichmäßigkeit ist entscheidend für die Kontrolle der Schichtdicke und die Qualität der Produkte. Durch den SCR-Regler bleibt die Temperatur der Lampe konstant – dadurch bleiben die Profilmerkmale des Photoresists von Charge zu Charge gleich. Dadurch entstehen vorhersehbare Prozessbedingungen, weniger Rückarbeiten und weniger Verschwendung.
Die Zuverlässigkeit des Geräts ist auf einen 24/7-Betrieb ausgelegt: Keine unplanmäßigen Stillstände, lange Wartungsintervalle sowie eine stabile Leistung über 5.000 Stunden hinweg. In der Praxis bedeutet das eine höhere Produktivität, ohne dass man auf Ersatzteile angewiesen ist.
Einige praktische Hinweise: Das Gerät benötigt eine spezielle, saubere Stromversorgung sowie eine ordnungsgemäße Erdung, damit Störungen durch elektromagnetische Felder vermieden werden. Wenn Sie das Gerät in bestehende Trocknungsanlagen integrieren möchten, planen Sie eine kurze Einrichtungsphase ein, um die PID-Konstanten an die spezifischen Anforderungen der Lampe anzupassen.
Die Qualifizierung des Geräts kann in einem Tag abgeschlossen werden. Erwarten Sie jedoch zunächst eine kurze Anlaufphase beim ersten Waferlot, während das System sich thermisch einstellt. Sobald das Gerät eingestellt ist, läuft der Prozess problemlos weiter, mit minimalem Eingreifen.