ในกระบวนการลิโธกราฟี ความเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิเพียง 1°C ระหว่างการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์นั้นไม่ใช่เรื่องเล็กๆ เลย แต่ถือเป็นปัญหาที่ส่งผลต่อคุณภาพผลิตภัณฑ์โดยตรง วัสดุที่ใช้ในการผลิตมีข้อจำกัดด้านอุณหภูมิอย่างชัดเจน หากเครื่องทำความร้อนในตู้ไม่สามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ ก็จะก่อให้เกิดข้อบกพร่องและปัญหาด้านความสม่ำเสมอของกระบวนการผลิต เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนนี้มาเพื่อให้สอดคล้องกับสภาพจริงในโรงงาน นั่นคือ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่สอดคล้องกับกระบวนการผลิต ไม่ใช่อุณหภูมิในห้อง
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เครื่องนี้ใช้เทคโนโลยีอินฟราเรดคลื่นสั้นภายในซองควอตซ์ ทำให้มีการตอบสนองที่รวดเร็วและมีความเฉื่อยทางอุณหภูมิต่ำ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.1°C และความสามารถในการทำซ้ำกระบวนการก็สูงมาก ทำให้ไม่มีความเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิระหว่างการผลิตแต่ละครั้ง ส่วนข้อจำกัดด้านห้องที่มีความสะอาดสูงนั้น ก็ได้รับการแก้ไขด้วยการใช้วัสดุที่เหมาะสมกับมาตรฐาน Class 1–100 และการออกแบบที่ช่วยลดการปล่อยก๊าซและการเกิดอนุภาคต่างๆ นอกจากนี้ เครื่องนี้ยังสามารถเชื่อมต่อกับระบบควบคุมของตู้ได้ผ่านพอร์ตเชื่อมต่อมาตรฐาน ทำให้อุณหภูมิคงที่ตลอดเวลา ช่วยลดความเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิและปกป้องกระบวนการผลิต
เหตุผลที่เครื่องนี้เหมาะสำหรับใช้ในตู้เคมี
ในตู้เคมี เครื่องทำความร้อนนี้จะช่วยรักษาอุณหภูมิของวัสดุโฟโตรีซิสต์และวัสดุอื่นๆ ให้อยู่ในระดับที่กำหนดไว้ในสูตรการผลิตได้อย่างแม่นยำ ความแม่นยำนี้ช่วยลดเวลาการรอให้อุณหภูมิสูงขึ้น ช่วยควบคุมขนาดของวัสดุให้แม่นยำขึ้น และลดปริมาณวัสดุที่เสียหายจากความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะระบบสามารถรักษาอุณหภูมิไว้ได้อย่างแม่นยำ ทำให้ลดภาระต่อระบบไฟฟ้าและโรงงานโดยรวม ความน่าเชื่อถือของเครื่องนี้ก็แสดงออกมาในรูปแบบของเวลาการทำงานที่ยาวนาน มีการหยุดทำงานน้อยลง และอัตราการผลิตวัสดุก็คงที่
รายละเอียดที่จำเป็นในการติดตั้ง
การติดตั้งต้องคำนึงถึงทิศทางการไหลของอากาศในตู้ด้วย เครื่องนี้จะทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพเมื่อมีการหมุนเวียนอากาศที่สมดุลและช่องระบายอากาศมีขนาดเหมาะสม สามารถใช้กับตู้ประเภทต่างๆ ได้ แต่หากมีระบบควบคุมแบบเก่าอยู่ ก็ควรตรวจสอบอินเทอร์เฟซการเชื่อมต่อก่อน คาดว่าจะต้องใช้เวลาประมาณหนึ่งวันในการปรับแต่งระบบ PID หลังจากนั้น กระบวนการผลิตก็จะดำเนินไปได้อย่างมีประสิทธิภาพ