บนพื้นโรงงานผลิตจอแสดงผลยืดหยุ่น การอบโฟโตรีซิสต์ไม่ใช่แค่การ “ให้ความร้อน” เท่านั้น แต่เป็นการจัดการงบประมาณความร้อน—การเปลี่ยนอุณหภูมิเล็กน้อยจะกลายเป็นความผิดพลาดด้านขนาดโดยตรงบนอุปกรณ์ที่เสร็จสมบูรณ์ หากโปรไฟล์การอบแบบอบนุ่มหรืออบแข็งเบี่ยงเบนแม้แต่น้อย จะเห็นอัตราผลิตที่ลดลงอย่างรวดเร็วบนวัสดุพื้นฐานที่เปราะบางเหล่านั้น
สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค
เราออกแบบโคมอบให้ใช้คลื่นอินฟราเรดระยะสั้นที่ควบคุมอย่างแม่นยำ ซึ่งทำให้อบแผ่นเวเฟอร์ได้รวดเร็วแบบไม่สัมผัส และรักษาความสม่ำเสมอระดับแผ่นเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C เส้นทางแสงควอตซ์และอุปกรณ์ที่ปล่อยก๊าซต่ำช่วยลดการเกิดฝุ่นลงเป็นศูนย์—เนื่องจากในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 ฝุ่นเพียงจุดเดียวอาจทำให้สายการผลิตเสียได้ ความแม่นยำของอุณหภูมิโฟโตรีซิสต์คงที่ระหว่างล็อต และโปรไฟล์ความร้อนยังคงเสถียรแม้ในกรณีการผลิต 24/7
เหตุผลที่ใช้กับจอแสดงผลยืดหยุ่น
วัสดุพื้นฐานแบบยืดหยุ่นต้องการการจัดการความร้อนที่อ่อนโยนแต่ชัดเจนในขั้นตอนลิโธกราฟี โคมอบช่วยให้ถึงอุณหภูมิเป้าหมายอย่างรวดเร็ว รักษาอุณหภูมิอย่างสม่ำเสมอ แล้วทำความเย็นโดยไม่เกิดการโอเวอร์ชูต ผลลัพธ์คือการควบคุมขนาดวิกฤตที่สม่ำเสมอ ลดความจำเป็นในการทำงานซ้ำ และเวลารอบการผลิตที่น่าเชื่อถือ การใช้พลังงานยังถูกจำกัด ด้วยการควบคุมรอบการทำงานที่แม่นยำและไดรเวอร์ประสิทธิภาพสูงช่วยให้ทำงานได้เย็นลงโดยไม่สูญเสียประสิทธิภาพ
รายละเอียดปฏิบัติการ
การติดตั้งขึ้นอยู่กับการปรับขนาดของโคมอบให้เข้ากับห้องกระบวนการและตรวจสอบการเชื่อมต่อพลังงานและขั้วต่อก่อนทำการผสานระบบ สามารถใช้งานร่วมกับระบบอัตโนมัติในโรงงานมาตรฐานได้ แต่ต้องยืนยันการนำความร้อนในแต่ละชุดวัสดุพื้นฐานเพื่อรักษาความสม่ำเสมอตามที่กำหนด
วางแผนรันทดลองระยะสั้นเพื่อปรับแต่งโปรไฟล์ให้เหมาะสมกับโฟโตรีซิสต์และชั้นวัสดุพื้นฐานของคุณ เมื่อปรับจูนเสร็จ ความสามารถทำซ้ำจะกลายเป็นค่ามาตรฐาน