ในเส้นผ่านศูนย์กลาง 300 มม. ความแตกต่างของอุณหภูมิเพียง 0.3°C ระหว่างกระบวนการอบอ่อนก็อาจทำให้อุณหภูมิของชิปอยู่นอกขอบเขตที่กำหนดไว้ ส่งผลให้ชิปทั้งล็อตต้องถูกทำลายไป ดังนั้นจึงไม่จำเป็นต้องมีตัวแปรอื่นๆ เพิ่มเติมในกระบวนการควบคุมอุณหภูมิอีก เตาอบแบบอินฟราเรดของเราถูกออกแบบมาเพื่อขจัดความไม่แน่นอนเหล่านี้ออกไป
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เราใช้เครื่องส่งคลื่นอินฟราเรดแบบคลื่นสั้นที่มีความสามารถในการตอบสนองอย่างรวดเร็ว และมีการควบคุมสเปกตรัมได้อย่างแม่นยำ ซึ่งเหมาะสมกับคุณสมบัติการดูดซับของวัสดุฟอโตเรซิสต์มาตรฐาน ในบริเวณกระบวนการผลิต อุณหภูมิของวงจรจะอยู่ในช่วง ±0.1°C และความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็จะอยู่ในระดับที่สม่ำเสมอในแต่ละล็อต
ตัวเตาอบถูกออกแบบมาสำหรับการใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย มีพื้นผิวที่เรียบเนียน และมีระบบการไหลของอากาศที่ช่วยลดการเกิดอนุภาคต่างๆ การไม่มีอนุภาคเกิดขึ้นเลยไม่ใช่เพียงข้ออ้างทางการตลาดเท่านั้น แต่เป็นข้อกำหนดที่ถูกกำหนดไว้ตั้งแต่การออกแบบ และมีการตรวจสอบผลลัพธ์อย่างต่อเนื่อง
เหตุใดจึงเหมาะสมสำหรับโรงงานผลิต
นี่คือจุดที่กระบวนการประมวลผลฟอโตเรซิสต์มีบทบาทสำคัญ เช่น กระบวนการลิธอกราฟี การอบอ่อน การอบแข็ง และขั้นตอนอื่นๆ การใช้คลื่นอินฟราเรดช่วยให้ได้อุณหภูมิที่เหมาะสมในเตาอบที่มีประสิทธิภาพสูง ในขณะที่การออกแบบที่เหมาะสมกับห้องสะอาดก็ช่วยให้อุณหภูมิอยู่ในขอบเขตที่กำหนดไว้
ผลลัพธ์ที่ได้คือ จำนวนชิปที่ต้องทิ้งลดลง ขนาดของชิปมีความสม่ำเสมอ และมีเวลาในการผลิตที่แน่นอน นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เพราะเตาอบสามารถถึงอุณหภูมิที่กำหนดได้อย่างรวดเร็ว และรักษาอุณหภูมินั้นไว้ได้โดยไม่มีการเกินขอบเขต
สิ่งที่คุณควรรู้ล่วงหน้า
เตาอบนี้สามารถเชื่อมต่อกับอินเตอร์เฟซของเตาอบมาตรฐานได้ แต่มวลความร้อนของเตาอบและรูปแบบการจัดวางชิ้นงานก็ยังส่งผลต่อความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอยู่ดี ดังนั้นควรกำหนดขนาดของชิ้นงานและวิธีการจัดวางชิ้นงานให้ชัดเจน และตรวจสอบรูปแบบการไหลของอากาศระหว่างการติดตั้งด้วย
ในพื้นที่จำกัด การจัดวางของเครื่องส่งคลื่นอินฟราเรดอาจต้องมีการปรับเปลี่ยนเล็กน้อย เราจะให้ข้อมูลเกี่ยวกับเงื่อนไขต่างๆ ล่วงหน้า เพื่อให้เตาอบสามารถทำงานได้อย่างเหมาะสมกับกระบวนการผลิต—ไม่ใช่ให้กระบวนการผลิตมาปรับเตาอบให้เข้ากันได้