Как нагревать кремниевые пластины без ущерба для чистой комнаты
Когда вы работаете в чистой комнате класса 100, даже одна крошечная пылинка может привести к серьезным последствиям. Даже одна! При нагревании кремниевых пластин нельзя допускать выделения каких-либо веществ или утечки газов в воздух. Стандартные нагревательные элементы? Забудьте об этом. Они выпускают частицы, а в такой среде это недопустимо.
Поэтому мы используем инфракрасные лампы из высокочистого синтетического кварца.
Секрет заключается в кварце.
Мы используем спеканный кремний с практически нулевым содержанием примесей. Почему? Потому что при высоких температурах не нужно, чтобы химические вещества выделялись. Кварцевая оболочка служит своего рода герметичным контейнером для вольфрамовой нити. Это предотвращает ее реакцию с воздухом, что, в свою очередь, исключает возникновение металлических оксидов на поверхности пластины.
Но есть одна сложность: расстояние между лампой и пластиной. Если установить лампу слишком близко, это может повредить пластину или создать зоны с высокой температурой. Если же расстояние слишком велико, энергия будет тратиться впустую на нагрев воздуха в комнате. Мы выбираем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением – это более эффективный способ нагрева, поскольку тепло поступает непосредственно в саму пластину, а не нагревает всю комнату.
Несколько важных моментов.
Эти лампы имеют очень высокую температуру нагрева. Поэтому время нагрева минимально. Но это оказывает большое давление на источник питания. Обязательно проверьте провода и разъемы. Если они не рассчитаны на такую мощность, они могут перегореть.
Также помните, что высокочистый кварц хрупок. Его нельзя бросать без разбора. Если при установке проявить слишком большую активность, могут появиться микротрещины. Сначала их может не быть видно, но как только лампа начнет работать при изменении температуры, она может сломаться.
Обеспечение полной безопасности от пыли.
Чтобы исключить любую загрязнение, мы устранили все органические связующие вещества. Все компоненты лампы являются неорганическими.
Это очень важно. Это значит, что нет никакого периода «выгорания» лампы. В первый раз после включения лампы в комнате не будет никаких раздражающих летучих органических соединений.
Все, что нужно сделать – это подключить лампу, настроить расстояние, и все готово.