
Прекратите использовать традиционные методы сушки оборудования: существует более эффективный способ сушки пластин для MEMS-датчиков.
При сушке пластин для MEMS-датчиков необходимо избавиться от влаги. Но проблема в том, что большинство людей пытаются это сделать путем нагрева всего окружающего пространства.
Стандартный конвективный или всеправильный нагрев превращает дорогое полупроводниковое оборудование в огромную печь. Внутренние стены поглощают всю энергию, что является проблемой. В результате возникает ситуация, когда стены становятся слишком горячими, что может повредить оператора или нарушить функционирование внутренних узлов оборудования. Это серьезная проблема.
Мы нашли лучший способ – направленный инфракрасный нагрев.
Как это работает
Представьте себе фонарик, только вместо света используется тепло. Вместо того чтобы нагревать воздух и надеяться, что пластина также нагреется, инфракрасные лампы излучают электромагнитные волны прямо на поверхность пластины. Благодаря правильному выбору длины волн энергия достигает пластины и жидких остатков, не распространяясь на остальную часть оборудования. Мы используем кварцевые корпуса и отражатели, чтобы сохранить направленность излучения. Тепло поступает именно туда, где это необходимо, а не куда-либо еще.
Проблемы
Но есть одна сложность: чтобы быстро высушить пластины, необходимо использовать большую мощность в ограниченном пространстве. Высокая тепловая плотность помогает ускорить процесс, но имеет свои последствия. Лампы с высокой мощностью становятся чрезмерно горячими. Если подключать их без проверки способности проводки и разъемов выдерживать такой ток, можно повредить соединения. Это распространенная ошибка.
Даже если излучение направленное, все равно необходимо расположить вентиляторы так, чтобы они отводили тепло от концов ламп. Нельзя игнорировать этот момент.
Безопасность для персонала
Самое лучшее заключается в том, что исчезает эффект «печи» внутри камеры. Поскольку стены не поглощают лишнее тепло, внешняя часть оборудования остается прохладной на ощупь. Не нужно использовать тяжелую теплоизоляцию или беспокоиться о том, что сотрудники можут обжечься при обслуживании оборудования.
Это просто изменение подхода: вместо нагревания всей комнаты достаточно нагревать только ту часть, которая нужна.