Het juiste niveau van warmte voor de wafer bereiken
Wanneer je met infraroodlampen werkt in een schone ruimte, is het doel eenvoudig: de warmte precies waar die nodig is. Je wilt geen energie verspillen en je wilt zeker niet dat je omgeving wordt beschadigd. Daarom gebruiken we reflectoren die bedekt zijn met goud. Dit zorgt ervoor dat de infrarode straling op de wafer terechtkomt, in plaats van dat de lamp zich onnodig opwarmt.
Waarom goud?
De meeste mensen gebruiken aluminiumreflectoren, maar aluminium neemt juist een deel van de infrarode straling op. Goud is anders: het is zeer reflecterend in het infrarode gebied. Hierdoor wordt de warmte veel effectiever overgedragen naar de wafer.
Elke watt elektriciteit die je gebruikt, heeft dus effect op het oppervlak van de wafer. Het is gewoon efficiënter.
Minder warmte, minder stress
Bij het kiezen van deze lampen let je vooral op de energiedichtheid. Omdat de gouden coating zo effectief is, kun je de gewenste temperaturen bereiken zonder de vermogenssterkte te verhogen.
Dit is een grote voordelen voor het HVAC-systeem. De schone ruimte blijft koeler, omdat de lampen geen warmte in de lucht afgeven. Hierdoor voelt de hele ruimte minder als een oven.
We hebben deze lampen ontworpen als eenvoudige vervanging voor je huidige apparatuur. Maar let op: omdat ze zo veel efficiënter zijn, zullen de wafers sneller opwarmen dan je gewend bent. Je moet de PID-regelaars aanpassen, zodat je per ongeluk de gewenste temperatuur niet overschrijdt.
Het schoonhouden van de lampen
Omdat deze lampen zich in een schone ruimte bevinden, hebben we alle materialen weggehaald die tot uitstoot van gassen kunnen leiden. We willen niet dat er onzuiverheden op de wafers terechtkomen. De gouden laag wordt ook afgesloten, zodat deze niet kan oxideren.
Wees voorzichtig met deze lampen. Als de coating wordt geschaafd of er olie op komt te zitten, zal de warmteverdeling op de wafer oneffen worden. Houd ze dus schoon. En gebruik alleen goedgekeurde oplosmiddelen. Je wilt immers niet dat de gouden laag per ongeluk wordt weggespoeld.