Menghentikan Kebocoran Tenaga Semasa Proses Pencucian Wafer Semikonduktor
Sejujurnya, proses pencucian wafer semikonduktor merupakan tahap di mana tenaga banyak disia-siakan. Selama bertahun-tahun, kita bergantung pada penggunaan udara panas yang banyak atau kaedah konveksi untuk mengeringkan wafer tersebut. Kaedah ini lambat, tidak efisien, dan membuang banyak tenaga hanya untuk memanaskan udara yang akhirnya tidak digunakan sama sekali.
Kita telah menemukan cara yang lebih baik. Daripada memanaskan seluruh bilik, kita menggunakan lampu inframerah yang tahan air untuk memanaskan kawasan yang lembap pada permukaan wafer secara langsung. Ini merupakan cara yang lebih efektif.
Mengatasi Masalah Kelembapan
Bekerja dalam lingkungan yang berkelembapan tinggi merupakan masalah besar bagi peralatan elektronik. Jika setitik air pun jatuh ke atas filamen yang panas, lampu tersebut akan rosak sepenuhnya. Itulah sebabnya kita perlu menggunakan penutup khusus yang tahan air agar kelembapan tidak sampai ke elektrod. Tujuannya adalah untuk memastikan bahagian dalam lampu tetap kering, sementara persekitaran di sekelilingnya tetap lembap.
Yang terbaik ialah lampu-lampu ini dapat berfungsi dengan cepat—dalam beberapa saat sahaja. Anda tidak perlu membiarkan lampu beroperasi pada kelajuan maksimum sambil menunggu wafer seterusnya diproses. Setelah lampu dihidupkan, ia akan mencapai suhu yang diinginkan dengan cepat. Bill elektrik anda pasti akan berkurangan.
Reka Bentuk yang Sesuai untuk Penggunaan Sebenar
Ketahanan terhadap air bukan hanya berkaitan dengan bahagian kaca sahaja. Disebabkan kelembapan dan bahan kimia yang digunakan semasa proses pencucian, komponen-komponen lain juga mudah rosak. Kita menggunakan bahan yang tahan korosi agar komponen-komponen tersebut tidak rosak setelah digunakan untuk waktu yang lama.
Jika anda menggunakan peralatan lama, komponen-komponen ini boleh digunakan sebagai pengganti yang sesuai. Anda hanya perlu menggantikan komponen pemanas lama dengan komponen ini, dan semuanya akan berjalan lancar.
Selain itu, ada kelebihan lain: tiada gangguan udara. Oleh kerana lampu inframerah menggunakan radiasi, tiada zarah debu yang akan terbang ke permukaan wafer. Ini menjadikan prosesnya lebih senyap dan bersih.
Cabaran: Mengurus Panas
Masalahnya ialah array inframerah yang berdensiti tinggi akan menjadi sangat panas. Sementara wafer dikeringkan dengan cepat, komponen-komponen di sekelilingnya akan menanggung beban haba yang tinggi. Jika penyejuk tidak cukup efektif, komponen elektronik akan rosak. Ini merupakan pertukaran yang perlu dilakukan: kita boleh menjimatkan tenaga dalam proses pengeringan, tetapi kita perlu memastikan aliran udara mencukupi agar kabel-kabel tidak rosak.
Namun, sekiranya keseimbangan ini dapat dicapai, kita boleh menghilangkan penggunaan blower yang memerlukan banyak tenaga. Ini mungkin cara paling cepat untuk menjadikan kilang pembuatan semikonduktor lebih “hijau” tanpa mengorbankan kelajuan prosesnya.