Di bilik proses pengeringan ini, proses pengeringan yang lembut bukanlah sekadar langkah pemanasan awal. Ia merupakan tahap di mana ketebalan garisan dan kualiti produk ditentukan dengan lebih tepat. Perubahan suhu sebanyak beberapa darjah sahaja pun boleh mengganggu kawalan dimensi produk, merosakkan bentuk permukaan wafer, dan menyebabkan wafer yang telah siap diproses menjadi tidak berguna. Kami mencipta lampu pengeringan inframerah untuk mengurangkan faktor-faktor yang boleh menimbulkan variasi tersebut.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Kami menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek yang mampu memanaskan substrat dengan cepat. Sistem kawalan suhu berfungsi untuk mengekalkan suhu yang sama pada setiap permukaan wafer, pada tahap ±0.1°C. Geometri tingkap kuarsa dan reflektor pula membantu mengekalkan keseragaman suhu, agar setiap wafer mendapat perlakuan termal yang sama, dari satu kumpulan ke kumpulan yang lain. Seluruh sistem ini direka untuk digunakan dalam bilik bersih, menggunakan bahan-bahan yang menghasilkan gas yang minimum, dan reka bentuk yang dapat mengurangkan pembentukan zarah-zarah debu sebanyak mungkin.
Mengapa ia sesuai untuk proses sebenar
Lampu ini boleh digunakan dalam proses yang sama seperti yang digunakan untuk memproses wafer. Dengan cara ini, proses pengeringan akan tetap konsisten—tanpa masalah suhu yang tidak stabil. Ia juga dapat digunakan untuk proses pengeringan wafer, pengeringan bahan fotorezist, serta proses pengeringan selepas pembersihan. Pada lini pengilangan, ia membolehkan proses pengeringan yang terkawal, dengan margin suhu yang ketat. Kelebihannya ialah jumlah wafer yang perlu diperbaiki berkurangan, pengedaran dimensi wafer menjadi lebih seragam, dan masa proses dapat dirancang dengan lebih baik. Selain itu, penggunaan tenaga juga dapat dikurangkan, kerana lampu ini dapat mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat dan mengekalkannya tanpa perlu berulang-ulang kali.
Apa yang perlu dirancang
Pemasangan lampu ini memerlukan penyediaan antaramuka yang sesuai, termasuk jenis connector dan jarak fizikal antara komponen-komponen yang terlibat. Lampu ini boleh digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, tetapi ia memerlukan aliran udara yang bersih dan kering di sekitar tingkap pemancar, agar keluaran cahaya tetap stabil dan tiada variasi suhu. Selepas mengganti pemancar, perlu ada tempoh penyesuaian sebentar, dan penalaan berkala perlu dilakukan untuk memastikan keseragaman suhu yang diinginkan.