クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つには
クラス100のクリーンルームを運営する際、私たちは目に見えないものと戦っているのです。多くの人々はほこりを心配しますが、実際の敵はしばしばヒーター自体です。
問題は、一般的なIRランプは、端末部分が安価なプラスチックや接着剤で固定されている点です。高温になると、これらの材料が劣化し始めます。その結果、VOCが放出され、微細な破片が作業エリアに飛び散ります。これは、無菌環境を維持しようとする人々にとって悪夢のような状況です。
私たちは、そうした問題を解決するために、安価な部品を使わず、高純度の石英管と特殊なセラミック製の端末を使用しました。
汚染をゼロにする秘訣
私たちは、非常に純度の高い合成石英を使用しています。これにより、ウェーハや基板が加熱される際に金属不純物が付着する心配がありません。
しかし、最も問題になるのは密封性能です。そのため、私たちはセラミックを使用しました。セラミックはガスを放出しないため、フィラメントが膨張や収縮しても亀裂や破片が発生することはありません。
デメリット（完璧なものはない）
これらは、既存の硬化・乾燥装置の代替品として設計されています。私たちはセラミックと金属を溶接して密閉構造を作り、ハロゲンガスを内部に閉じ込めています。もしこの密封が破れると、フィラメントは数分以内に破壊されてしまいます。
ただし、セラミックは脆いため、頑丈な工業用ヒーターのように扱うことはできません。取り付け時にうっかり力を入れすぎると、セラミック製の部品が割れてしまいます。そうなると、真空封止が失われ、ランプは台無しになります。十分に注意して扱ってください。
エンジニア向けのアドバイス
これらのランプを接続する際は、反射板を確認してください。もし酸化物の破片が付着している場合、ランプがどんなに清潔でも、生産エリアは依然として汚染されてしまいます。高純度のアルミニウムや金メッキされた反射板を使用しましょう。
また、電源もしっかり確認してください。ワット数が石英管の規格に合っているかを確認してください。フィラメントに過度な負荷をかけると、セラミック製の密封部分が早く破壊され、クリーンルームの認定が危うくなります。
正確に、そして丁寧に扱えば、問題なく動作します。