クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
ウェーハを処理するとき、ほんのわずかなほこりでさえも大問題です。それは生産効率を著しく低下させます。問題は、一般的な加熱要素が「汚れている」ということです。必要な時には、微細な破片やガスが発生してしまいます。
そのため、私たちは赤外線ランプに高純度の合成石英を使用しています。これにより、より良い性能が得られます。
石英が重要な理由
私たちが使用しているのは、不純物がほとんど含まれていない融解シリカです。低品質の石英を使ったことがある人なら、高温になるとどうなるかご存知でしょう。透明度が低下したり、分解してしまったりします。しかし、私たちの製品はそうではありません。化学的に安定しているため、空気と反応したり、ウェーハに粒子が付着したりすることはありません。
また、これらのランプは短波長の赤外線を利用しています。そのため、熱が素早くウェーハ表面に届きます。基板が長時間高温にさらされることはないため、熱応力やウェーハの歪みの心配もありません。迅速で効率的です。
漏れを防ぐ方法
ほとんどの汚染はランプの中央ではなく、端から起こります。私たちは特殊な密封処理や高品質の電極を用いてこれを解決しました。起動時に金属蒸気が漏れ出ることもありません。
また、ケースの形状も工夫されており、クリーンルーム内の層流を乱すことはありません。乱流が発生するとほこりが舞い上がってしまいます。
注意点として、パワー密度にも気をつける必要があります。これらのランプは素早く目標温度に到達しますが、それだけ大量の熱が発生します。シールド装置が適切に設計されているか確認してください。チassisに排気口がない場合、熱が周囲に広がり、センサーの読み取り値に影響を与えます。
ラインに組み込む方法
全ての機器を再設計する必要はありません。これらのランプは既存の加熱装置に直接交換できるように设计されています。
唯一の注意点は、扱い方に細心の注意を払うことです。本当にです。石英に指紋が付くだけでも熱点が生じ、それによって早期に劣化してしまいます。常に清潔に保てば、何千回でも同じ性能を発揮し続けます。