Smettete di riscaldare le pareti della macchina (e iniziate invece a riscaldare i wafer stessi)
Avete mai avuto l’impressione che, quando vi avvicinate a un dispositivo a semiconduttori, proviate una sensazione di calore proveniente dal guscio esterno del dispositivo? È un vero incubo. Le lampade a raggi infrarossi tradizionali disperdono calore ovunque; in uno spazio ridotto, quell’energia rimbalza da una parte all’altra, causando danni alle pareti interne del dispositivo.
Prima che ve ne rendiate conto, il dispositivo potrebbe essere danneggiato, oppure un tecnico potrebbe subire ustioni gravi. È davvero un caos.
Abbiamo trovato un modo migliore per risolvere questo problema, utilizzando raggi infrarossi direzionati, senza l’uso di ozono.
Come funziona davvero
La maggior parte delle lampade a onde corte funziona come semplici lampadine potenziate: irradiano energia in tutte le direzioni. Noi invece procediamo in modo diverso: utilizzando rivestimenti specifici in quarzo e modificando la geometria del riflettore, riusciamo a concentrare l’energia esattamente dove è necessaria, cioè sul wafer o sul substrato stesso.
Il problema dell’ozono
Le lampade a onde corte emettono radiazioni UV. In un sistema chiuso, queste radiazioni colpiscono l’ossigeno, creando ozono. Se avete già affrontato questo problema, sapete bene quali conseguenze possano avere: l’ozono distrugge i componenti delicati e causa allarmi di sicurezza che fanno fermare tutto. Per evitare ciò, i nostri tubi utilizzano un rivestimento speciale in quarzo che filtra le radiazioni UV. Niente ozono, niente corrosione, niente allarmi fastidiosi.
Un consiglio utile
Se utilizzate lampade ad alta potenza, fate attenzione al sistema di raffreddamento. Poiché concentriamo tutta quell’energia in una zona specifica, i fan devono essere posizionati correttamente. Altrimenti, le lampade potrebbero essere danneggiate.
Perché questo rende la vita più semplice
Quando si elimina l’effetto “pareti calde”, tutto cambia. Non è più necessario utilizzare isolanti termici pesanti sulle pareti interne, il che significa che la macchina può essere più piccola e leggera. Inoltre, i tecnici non devono più temere di toccare il dispositivo durante la manutenzione.
Inoltre, il processo diventa anche più veloce: poiché non viene sprecata energia per riscaldare l’aria e la struttura metallica intorno al componente, il materiale raggiunge la temperatura desiderata molto più rapidamente. Anche il consumo energetico per ciclo diminuisce.
Attenzione! Assicuratevi che la vostra fonte di alimentazione sia in grado di gestire gli sbalzi di tensione che si verificano quando le lampade si accendono per la prima volta. Una volta che le lampade iniziano a funzionare regolarmente, tutto va per il meglio.