Nella sala di produzione, la fase di riscaldamento a bassa temperatura non rappresenta semplicemente un passaggio preliminare. È proprio in questa fase che vengono definiti per la prima volta i valori riguardanti lo spessore dei bordi dei wafer e il tasso di successo della produzione. Anche una piccola variazione di temperatura può compromettere il controllo delle dimensioni critiche dei wafer, influenzando negativamente la loro forma e rendendo inutilizzabili i wafer che sono già stati sottoposti alle fasi precedenti del processo. Abbiamo progettato le nostre lampade a infrarosso specificamente per eliminare queste variazioni.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico Utilizziamo emettitori a onde corte a infrarosso che riscaldano direttamente e rapidamente il substrato. Il sistema di controllo della temperatura garantisce una uniformità di temperatura pari a ±0,1°C su tutta la superficie di riscaldamento. La geometria della finestra in quarzo e del riflettore mantiene stabile il profilo termico, in modo che ogni wafer riceva gli stessi parametri termici, lotto dopo lotto. L’intero sistema è adatto per essere utilizzato in ambienti a bassa contaminazione: vengono infatti utilizzati materiali con bassa emissione di gas e una struttura progettuata per ridurre al minimo la generazione di particelle.
Perché funziona bene nei processi reali La lampada può essere integrata facilmente nel flusso di lavoro esistente, garantendo così una uniformità di riscaldamento costante, senza variazioni o ritardi termici. Può essere utilizzata per asciugare i wafer, per indurire il fotorest e per asciugarli ulteriormente dopo la pulizia. Negli impianti di confezionamento, permette un indurimento controllato, con margini termici precisi. I vantaggi includono una riduzione del numero di lavorazioni di correzione, una distribuzione più uniforme delle dimensioni dei wafer e tempi di ciclo più prevedibili. Inoltre, riduce anche il consumo energetico, poiché la lampada raggiunge rapidamente la temperatura desiderata e la mantiene costante, evitando cicli di accensione/spegnimento ripetuti.
Cose da considerare durante l’installazione L’installazione richiede soltanto che l’interfaccia della lampada sia compatibile con quella degli altri strumenti utilizzati nel processo: tipo di connettore e spazi fisici necessari. La lampada può essere utilizzata in ambienti a bassa contaminazione (classe 1–100), ma è necessario che l’aria che circonda la finestra dell’emettitore sia pulita e asciutta, per mantenere stabile l’output e evitare variazioni di temperatura. Dopo il cambiamento dell’emettitore, è necessario attendere un breve periodo di rodaggio, e programmare calibrazioni periodiche per mantenere gli standard di uniformità desiderati.