फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, 5नैनोमीटर आकार की लाइनें थर्मल यूनिफॉर्मिटी में होने वाले परिवर्तनों को रोकती हैं। वेफरों को सुखाने, सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक की प्रक्रियाओं में ऐसे परिवर्तनों को सहन नहीं किया जा सकता। यदि लैंप का प्रदर्शन खराब हो जाता है, तो किनारों पर दोष उत्पन्न हो जाते हैं, चिपों की आपसी चिपकने की क्षमता कम हो जाती है, एवं कणों के कारण पूरी खेप बर्बाद हो सकती है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमारे टंगस्टन फिलामेंट वाले क्वार्ट्ज लैंप, छोटी तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड किरणें उत्सर्जित करते हैं; ये किरणें पानी एवं फोटोरेजिस्ट में आसानी से प्रवेश कर जाती हैं। इससे विलायकों को आसानी से हटाया जा सकता है, बिना पॉलिमरों पर कोई नकारात्मक प्रभाव पड़े। फिलामेंट की संरचना एवं क्वार्ट्ज आवरण, स्पेक्ट्रल स्थिरता हेतु विशेष रूप से डिज़ाइन किए गए हैं; इसलिए हजारों घंटों तक आउटपुट स्थिर रहता है। प्रकाशित क्षेत्र में, वेफरों का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, एवं एक बार चलने के बाद भी प्रक्रिया स्थिर ही रहती है। इस डिज़ाइन के कारण लगभग शून्य कण ही उत्पन्न होते हैं, एवं उपयोग की जाने वाली सामग्रियाँ क्लास 1 स्तर तक शुद्ध होती हैं।
व्यवहार में यह क्यों कारगर है?
वेफरों को सुखाने की प्रक्रिया में, तेज़ एवं नियंत्रित इन्फ्रारेड किरणें बेकिंग समय को कम कर देती हैं, एवं लिथोग्राफी से पहले नमी के पुनः अवशोषण का जोखिम भी कम हो जाता है। सॉफ्ट बेकिंग में, विलायकों का वाष्पीकरण नियंत्रित रहता है, एवं चिपों के आकार में भी स्थिरता बनी रहती है। हार्ड बेकिंग में, चिपों पर कोई तनाव या विघटन नहीं होता। इसका परिणाम यह है कि पुनः कार्य करने की आवश्यकता कम हो जाती है, पहली ही बार में चिपें तैयार हो जाती हैं, एवं हर शिफ्ट में थर्मल स्थिरता बनी रहती है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि लैंप केवल आवश्यकता के अनुसार ही गर्म होता है, एवं तापमान भी नियंत्रित रहता है।
योजना बनाते समय किन बातों का ध्यान रखना आवश्यक है?
इन लैंपों के लिए उचित रिफ्लेक्टर एवं स्थिर पावर सप्लाई आवश्यक है; आउटपुट, वोल्टेज में होने वाले उतार-चढ़ाव एवं थर्मल चक्रों से प्रभावित होता है। अतः नियंत्रित शीतलन एवं सुरक्षात्मक उपाय आवश्यक हैं, ताकि अनावश्यक इन्फ्रारेड किरणें आसपास की सामग्रियों को नुकसान न पहुँचाएं। निर्धारित दिशा एवं दूरी पर ही इन लैंपों को लगाया जाना चाहिए; ऐसा करने से वे 24/7 काम कर सकते हैं, लेकिन फिर भी नियमित रखरखाव आवश्यक है, ताकि प्रक्रिया स्थिर रह सके।