फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान 0.1°C का भी अंतर, ओवरले एवं सीडी की एकरूपता को प्रभावित कर सकता है। ऐसी स्थिति में, घंटों की मेहनत बर्बाद हो जाती है। इसलिए हमने लैंप के लिए SCR पावर रेगुलेटर बनाया, ताकि तापमान स्थिर रहे – चाहे वह कई शिफ्टों में हो, या वर्षों तक।
तकनीकी दृष्टि से, सिलिकॉन-कंट्रोल्ड रेक्टिफायर का उपयोग करके लैंप का तापमान स्थिर रखा जाता है। इससे लाइन वोल्टेज में उतार-चढ़ाव होने पर भी आउटपुट स्थिर रहता है। बेकिंग प्रक्रिया के दौरान तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है; इससे सॉफ्ट बेकिंग एवं हार्ड बेकिंग प्रक्रियाएँ नियमित रूप से ही होती हैं।
यह उपकरण क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही इस्तेमाल किया जा सकता है… जहाँ कोई कण उत्पन्न न हो, एवं ऊर्जा की खपत कम हो। पावर फैक्टर सुधार एवं कुशल स्विचिंग के कारण ऊर्जा की खपत कम हो जाती है… एवं लैंप तेज़ तापमान पर्यावरण में भी टूटे बिना ही काम करता है।
वेफर प्रसंस्करण में ऐसा क्यों काम करता है?
तापीय एकरूपता ही सीडी नियंत्रण एवं उत्पादन दर को नियंत्रित करती है। SCR रेगुलेटर के कारण लैंप का तापमान स्थिर रहता है… इससे फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता हर बार समान रहती है। इससे प्रक्रिया अधिक प्रभावी हो जाती है… एवं अतिरिक्त काम/बर्बादी कम हो जाती है।
यह उपकरण 7×24 घंटे काम करने के लिए ही डिज़ाइन किया गया है… बिना किसी अप्रत्याशित रुकावट के… एवं 5,000+ घंटों तक स्थिर आउटपुट देता है। व्यावहारिक रूप से, इससे अधिक उत्पादन होता है… एवं अतिरिक्त स्टॉक की आवश्यकता नहीं पड़ती।
कुछ व्यावहारिक बातें:
इस उपकरण को विशेष, स्वच्छ विद्युत आपूर्ति एवं उचित ग्राउंडिंग की आवश्यकता है… ताकि EMI एवं लाइन ट्रांजिएंट्स सिस्टम में न आएं। यदि आप इसे पुरानी प्रक्रियाओं में इंटीग्रेट कर रहे हैं, तो अपने लैंप के लिए PID सेटिंग्स को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय निकालें।
इस उपकरण का परीक्षण एक ही दिन में किया जा सकता है… बस पहली बार उपयोग करते समय थोड़ा समय लगेगा… ताकि सिस्टम तापीय रूप से स्थिर हो जाए। एक बार समायोजन हो जाने के बाद, प्रक्रिया बिना किसी हस्तक्षेप के ही चलती रहती है।