חיישן טמפרטורה לכלי וייפר

על הקו, אותו wafer בקוטר 300 מ"מ יושב וממתין ל-soft bake שמגדיר את בקרת רוחב הקו שלך. סטייה של 2°C בפרופיל הלוח החם? זה מספיק להזיז את הממד...