Comment maintenir votre salle propre à 100 %
Lors du traitement des wafer, même une seule particule de poussière représente un problème sérieux : elle entraîne une perte importante de productivité. Le problème, c’est que la plupart des éléments chauffants standards sont “sales” : ils libèrent des gaz ou des particules fines au moment où on a besoin qu’ils restent invisibles.
C’est pourquoi nous avons opté pour du quartz synthétique de haute pureté pour nos lampes IR. Cela permet d’obtenir de meilleurs résultats.
Pourquoi le quartz est important
Nous utilisons de la silice fusionnée, avec presque zéro impureté. Si vous avez déjà utilisé du quartz de moindre qualité, vous savez comment il devient “nuageux” ou se détériore lorsqu’il fait chaud. Le nôtre ne présente pas ce problème : il est chimiquement inerte, ce qui signifie qu’il ne réagit pas avec l’air et ne libère aucune particule sur les wafer.
De plus, ces lampes émettent des ondes infrarouges à courte longueur d’onde. La chaleur atteint rapidement la surface du wafer. Comme le substrat n’est pas soumis à de hautes températures pendant longtemps, on n’a pas à s’inquiéter des contraintes thermiques ou du déformement du wafer. C’est rapide et efficace.
Comment éviter les fuites
La plupart des contaminations ne surviennent pas au centre de la lampe, mais plutôt aux extrémités. Nous avons résolu ce problème en utilisant des joints spéciaux et des électrodes de haute qualité. Aucun vapor métallique ne s’échappe pendant le démarrage de la lampe.
De plus, nous avons conçu l’enveloppe de la lampe de manière à ne pas perturber le flux d’air dans la salle propre. On ne veut pas que des turbulences créent de la poussière.
Un conseil : veillez bien à la densité de puissance de la lampe. Ces lampes atteignent rapidement la température désirée, mais cela génère beaucoup de chaleur. Assurez-vous que votre système de refroidissement est bien adapté. Si le boîtier de la lampe n’est pas ventilé, la chaleur se propagera partout, ce qui perturbera les lectures des capteurs.
Comment les intégrer dans votre ligne de production
Vous n’avez pas besoin de repenser toute votre installation. Ces lampes sont conçues pour remplacer directement les anciennes lampes de chauffage. La seule condition ? Il faut être très prudent dans leur manipulation. Même une simple empreinte digitale sur le quartz peut créer des points chauds, ce qui entraîne un usure prématurée de la lampe.
Tenez-les propres, et elles continueront à fonctionner correctement pendant des milliers de cycles.