جلوگیری از هدررفت انرژی در مراحل شستشوی تراشههای نیمههادی
بیایید صادق باشیم: مرحله شستشو در کارخانههای تولید تراشههای نیمههادی، معمولاً جایی است که انرژی هدر میرود. سالهاست که از هوای گرم برای خشک کردن ویفرها استفاده کردهایم؛ این روش آهسته است و همچنین مقدار زیادی انرژی را صرف گرم کردن هوا میکند، در حالی که این هوا در نهایت به هیچ کاری نمیرسد.
ما روش بهتری پیدا کردهایم؛ به جای گرم کردن کل اتاق، از لامپهای مادون قرمز ضدآب برای خشک کردن رطوبت روی سطح ویفرها استفاده میکنیم. این روش خیلی بهتر است.
مقابله با رطوبت
کار در محیطهای پررطوبت برای تجهیزات الکترونیکی واقعاً چالشبرانگیز است. اگر حتی یک قطره آب به رشتههای گرم لامپ برخورد کند، لامپ از کار میافتد.
به همین دلیل، ما از سیستمهای ضدآب برای جلوگیری از ورود رطوبت به الکترودها استفاده میکنیم. هدف این است که بخشهای مهم لامپ کاملاً خشک بمانند، در حالی که محیط اطراف آن تقریباً مانند سونا است.
نکته خوب این است که این لامپها خیلی سریع گرم میشوند؛ فقط چند ثانیه طول میکشد تا دمای مورد نظر را برسانند. شما نیازی ندارید لامپها را در حالت کاملاً روشن نگه دارید؛ فقط کافی است آنها را روشن کنید تا به دمای مورد نظر برسند. صورتحساب برق شما نیز از این کار سپاسگزار خواهد بود.
ساختار مناسب برای استفاده در شرایط واقعی
ضدآب بودن فقط مربوط به شیشهها نیست؛ به دلیل رطوبت و مواد شیمیایی مورد استفاده در فرآیند شستشو، بدنههای لامپها نیز آسیب میبینند. ما از مواد مقاوم در برابر خوردگی استفاده میکنیم تا تجهیزات پس از چند ماه استفاده مداوم، خراب نشوند.
اگر از تجهیزات قدیمیتری استفاده میکنید، این لامپها میتوانند به عنوان جایگزین مناسب برای آنها عمل کنند. کافی است لامپهای قدیمی را با این لامپها جایگزین کنید.
علاوه بر این، یک مزیت دیگر نیز وجود دارد: عدم وجود تلاطم هوا. از آنجایی که لامپهای مادون قرمز از تابش برای خشک کردن استفاده میکنند، پس هیچ ذرهای به روی ویفرها نمیرسد. این روش هم ساکتتر است و هم تمیزتر.
چالش: مدیریت گرما
مشکل اینجاست که لامپهای مادون قرمز با چگالی بالا، بسیار گرم میشوند. در حالی که ویفرها به سرعت خشک میشوند، بدنه لامپها باید گرمای اضافی را تحمل کند. اگر از فنهای خنککننده یا سیستمهای خنککننده مناسب استفاده نکنید، تجهیزات الکترونیکی شما خراب خواهد شد. این یک تعادل ساده است: شما میتوانید مقدار زیادی انرژی را در فرآیند خشک کردن صرفهجویی کنید، اما باید مطمئن شوید که جریان هوا مناسب باشد تا سیمها خراب نشوند.
اما وقتی که این تعادل برقرار شد، میتوانید از فنهای بزرگ و پرمصرف استفاده نکنید. این احتمالاً سریعترین راه برای کاهش مصرف انرژی در کارخانههای تولید تراشههاست.