در فرآیند پخت نرم، این مرحله صرفاً یک مرحله گرمکردن ساده نیست؛ بلکه در همین مرحله است که عرض خطوط و کیفیت محصولات برای اولین بار به طور دقیق تعیین میشوند. حتی تغییر جزئی در دما میتواند باعث اختلال در کنترل ابعاد محصولات شود و منجر به از بین رفتن ویفرهایی شود که قبلاً از مراحل فرآیند عبور کردهاند. ما لامپهای پخت نرم مبتنی بر امواج مادون قرمز را طوری طراحی کردهایم که این نوسانات را از بین ببرند.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟
ما از ایمیترهای مادون قرمز کوتاهامواج استفاده میکنیم؛ این ایمیترها، سطح زیرلایه را به سرعت و مستقیماً گرم میکنند. کنترل دما به صورت خودکار انجام میشود و یکنواختی دمای سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند. ساختار پنجره کوارتزی و بازتابندهها، پروفایل حرارتی را پایدار نگه میدارند؛ بنابراین هر ویفر، در هر دفعه، یکنواختی حرارتی یکسانی خواهد داشت. کل این سیستم برای استفاده در اتاقهای پاکسازی مناسب است؛ زیرا از موادی با میزان گازدهی کم استفاده شده و طراحی آن به گونهای است که تولید ذرات در حداقل میزان ممکن باشد.
چرا این روش در فرآیندهای واقعی مفید است؟
لامپ در همان فرآیند پخت استفاده میشود؛ بنابراین پخت نرم به طور یکنواخت انجام میشود، بدون هیچ نوسانی. این لامپ میتواند خشک کردن ویفرها، پخت فوتورزیست و خشک کردن پس از پاکسازی را با یکنواختی بالا انجام دهد. در خطوط بستهبندی نیز، این لامپ امکان کنترل دقیق دما را فراهم میکند. نتیجه این امر، کاهش تعداد محصولاتی است که نیاز به اصلاح دارند، توزیع یکنواختتر ابعاد محصولات، و زمانبندی دقیقتر فرآیندها خواهد بود. همچنین، این لامپ مصرف انرژی را نیز کاهش میدهد؛ زیرا به سرعت به دمای مورد نظر میرسد و آن را حفظ میکند.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیریم؟
نصب این لامپ مستلزم تطبیق رابط اتصال آن با سیستم موجود است؛ یعنی نوع کانکتور و فاصله فیزیکی بین آنها. این لامپ میتواند در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱ تا ۱۰۰ استفاده شود؛ اما برای حفظ یکنواختی خروجی، نیاز به جریان هوای تمیز و خشک در اطراف پنجره ایمیتر وجود دارد. پس از تعویض ایمیتر، نیاز به زمان کوتاهی برای انطباق مجدد سیستم وجود دارد؛ همچنین باید به طور دورهای تنظیمات لامپ انجام شود تا یکنواختی مورد نظر حفظ شود.