¿Por qué pasamos al uso de la radiación infrarroja en el procesamiento de semiconductores?
Durante mucho tiempo, hemos aceptado que la circulación de aire caliente es la forma adecuada para calentar los semiconductores. Pero seamos honestos: es un proceso lento. El aire es un pésimo conductor de calor. Hay que esperar minutos enteros hasta que el aire se caliente, y luego esperar aún más tiempo para que ese calor penetre en el wafer. Es una gran pérdida de tiempo.
Eliminando el intermediario
La radiación infrarroja funciona de manera diferente. En lugar de calentar el aire para luego calentar la pieza, utiliza radiación electromagnética para transferir energía directamente al material. Es casi instantáneo: basta con encender el dispositivo y el calor está listo para ser utilizado. Ya no hay necesidad de esperar a que la cámara se caliente.
Ahorro de espacio
Si alguna vez han estado en una sala con sistemas de circulación de aire, sabrán lo complicado que es todo eso: enormes soplantes, conductos interminables y cajas aisladas para evitar que el calor se escape. Todo eso ocupa mucho espacio. Las lámparas de radiación infrarroja nos permiten reducir ese espacio. Dado que dirigimos la energía directamente hacia la pieza a procesar, no desperdiciamos energía calentando el resto de la máquina. Es más eficiente.
Las limitaciones
No es magia. No se puede simplemente reemplazar un sistema por otro y listo. La radiación infrarroja requiere una línea de visión clara. Si la pieza tiene formas extrañas o rincones difíciles de alcanzar, la radiación no podrá llegar allí. Habrá zonas frías en la pieza. Hay que planificar cuidadosamente dónde colocar las lámparas para asegurarse de que toda la pieza reciba igual cantidad de calor.
Además, la radiación infrarroja actúa rápidamente. Los sensores deben estar ajustados perfectamente, de lo contrario, se superará la temperatura deseada antes de darse cuenta de ello.
Conclusión
Al final, todo se reduce a la eficiencia. Cada segundo que se ahorra en cada ciclo suma mucho. Más wafers por hora significa que toda la eficiencia de la línea de producción mejora.