En el piso de fabricación, un horneado de fotoresistencia que se desplace incluso 0.2°C puede alterar dimensiones críticas y enviar un gran número de obleas a la pila de desechos. Construimos el calentador de carrito de sala limpia para eliminar esa variabilidad del cálculo.
Lo que importa, técnicamente, es la uniformidad de temperatura a través de la carga—±0.1°C—y el control de rampa repetible tanto para perfiles de horneado suave como duro. El calentador utiliza una arquitectura de bajo perfil, compatible con sala limpia, con elementos sellados y materiales de grado HEPA para mantener la generación de partículas lo más cerca de cero posible. El flujo de aire es laminar, no turbulento, por lo que no se alteran las herramientas de litografía cercanas ni se corre el riesgo de contaminar la superficie de la oblea. El bucle de control está ajustado para estabilizarse rápidamente después de abrir la puerta, porque los cambios de línea no esperan por la estabilidad térmica.
Aquí está la razón por la cual funciona donde cuenta. El calentador se encuentra en el carrito, preacondicionando las obleas antes de que lleguen a la placa caliente. Eso te proporciona un presupuesto térmico estable antes de la exposición y el horneado, menos retrabajos y un control más preciso de CD. La compatibilidad con sala limpia—materiales y acabados clasificados de Clase 1 a 100—mantiene bajos los conteos de partículas y protege el rendimiento. También ahorras energía, porque el carrito retiene calor en lugar de depender del horno principal para cada calentamiento.
Algunas notas prácticas. La instalación requiere una alimentación de energía limpia dedicada y un correcto apantallamiento para evitar que la microvibración y el ruido eléctrico se acoplen al sensor de control. La huella es compacta, pero debes mantener el espacio alrededor de los caminos de flujo de aire; de lo contrario, la uniformidad se ve afectada. Y planifica la calibración rutinaria a nivel del carrito. Incluso el mejor calentador se desvía con el tiempo sin una ventana de metrología definida.