
Richtiges Aushärten ohne Blei – mit Vakuum-IR-Heizern
Wir beobachten eine große Veränderung bei der Trocknung und Aushärtung von Halbleitern. Alle tendieren dazu, auf bleifreie sowie umweltfreundliche Lösungen umzustellen – was großartig ist. Doch das ändert die Art und Weise, wie wir Wärme einsetzen müssen. Deshalb setzen wir auf Vakuumkammer-IR-Heizer. Sie ermöglichen es uns, auf diese störenden, lösemittelbasierten Hilfsstoffe zu verzichten und somit den Kohlenstoffausstoß im gesamten Prozess erheblich zu reduzieren.
Die Physik dahinter ist eigentlich ziemlich interessant.
Im Vakuum gibt es keine Luft, die Wärme weiterleiten könnte. Es findet also keine Konvektion statt. Stattdessen erfolgt die Wärmeübertragung durch Strahlung. Wir verwenden IR-Heizer, die kurzwellige Strahlung abgeben, die direkt ins Substrat gelangt.
Stellen Sie sich das so vor: In einem normalen Ofen gibt es eine „Decke“ aus Luft, die alles verlangsamt. Im Vakuum gibt es diese Decke nicht mehr. Die Wärme verschwendet keine Energie damit, die Wände der Kammer zu erhitzen – sie gelangt direkt dorthin, wo sie benötigt wird. Der Prozess läuft also sehr schnell ab.
Anpassung der Wärme an das Material
Bleifreie Lötmetalle und Harze sind anspruchsvoll. Wenn man die Temperatur falsch einstellt, entstehen thermische Spannungen oder „Outgassing“ – was für die Qualitätskontrolle ein Albtraum ist.
Der Trick besteht darin, die Wellenlänge des IR-Lichts an das jeweilige Photoresist- oder Klebstoffmaterial anzupassen. Es ist, als würde man ein Radio auf den richtigen Sender einstellen. So wird das Material vollständig ausgehärtet, ohne dass die Oberfläche beschädigt wird. Dadurch werden die alten, energieintensiven Konvektionsmethoden überflüssig.
Das Gleichgewicht finden
Es handelt sich dabei jedoch nicht um Magie. Hochintensive IR-Strahlung hat eine enorme Wirkung – doch das bringt auch Herausforderungen mit sich. Man muss vorsichtig mit der Leistung sein. Wenn man zu viel Energie in ein dünnes Bauteil leitet, kann dieses verformt werden. Es ist also ein feines Gleichgewicht zwischen der eingesetzten Leistung und der thermischen Masse des Substrats nötig. Zudem braucht man ein Kühlsystem, das den entstehenden Wärmeüberschuss bewältigen kann – sonst gibt es Probleme.
Was das für die Produktionsprozesse bedeutet
Der größte Vorteil ist die Zeitersparnis. Die Aushärtungszeiten verkürzen sich von Stunden auf Minuten. Das verbessert die Effizienz enorm. Man verschwendet keine Energie mehr und muss nicht mehr auf giftige chemische Beschleuniger zurückgreifen. Für alle, die die strengen Anforderungen moderner bleifreier Produkte erfüllen müssen, ist das einfach eine bessere Methode zur Arbeit.