Wie man seine Klasse-100-Reinraumumgebung wirklich sauber hält
Wenn man Wafern verarbeitet, ist schon ein einziger Staubkorn kein bloßer Ärgernis – es handelt sich dabei um eine Katastrophe. Dadurch sinkt die Produktivität. Das Problem ist, dass die meisten herkömmlichen Heizelemente „schmutzig“ sind. Sie geben Gase ab oder lösen kleine Partikel ab – genau in dem Moment, in dem sie eigentlich unsichtbar sein sollten.
Deshalb haben wir für unsere IR-Lampen hochreinen synthetischen Quarz verwendet. So funktionieren die Lampen einfach besser.
Warum der Quarz wichtig ist
Wir verwenden geschmolzenes Silizium mit nahezu keinerlei Verunreinigungen. Wenn man bereits qualitativ schlechteren Quarz verwendet hat, weiß man, wie dieser trüb wird oder zerfällt, sobald es heiß wird. Unser Quarz tut das nicht. Er ist chemisch inerte – das bedeutet, er reagiert nicht mit der Luft und gibt keine Partikel auf die Wafer ab.
Außerdem arbeiten diese Lampen mit Kurzwellen-Infrarotstrahlung. Die Wärme erreicht damit schnell die Oberfläche der Wafer. Da das Substrat nicht lange unter hoher Temperatur steht, muss man sich weniger Sorgen um thermische Belastungen oder Verformungen der Wafer machen. Es ist schnell und effizient.
Vermeidung von Lecks
Die meisten Kontaminationen entstehen nicht mitten in der Lampe, sondern an ihren Enden. Wir haben dieses Problem durch spezielle Abdichtungen sowie hochwertige Elektroden gelöst. Dabei kommt während des Einschaltvorgangs kein Metalldampf heraus.
Außerdem haben wir die Gehäuse so gestaltet, dass sie den laminaren Luftstrom im Reinraum nicht stören. Man möchte schließlich keine Turbulenzen, die Staub aufwirbeln könnten.
Wichtig: Achten Sie auf die Leistungsintensität der Lampen. Diese Lampen erreichen schnell die gewünschten Temperaturen – doch das bedeutet auch einen hohen Wärmefluss. Stellen Sie sicher, dass die Abdeckungen richtig dimensioniert sind. Wenn das Gehäuse nicht gut belüftet ist, dringt die Wärme in alles ein und beeinträchtigt die Messwerte der Sensoren.
Einbau in die Produktionsanlage
Es ist nicht notwendig, die gesamte Anlage neu zu konstruieren. Wir haben diese Lampen so entworfen, dass sie direkt in die vorhandenen Heizsysteme eingebaut werden können.
Das einzige Problem: Man muss sehr sorgfältig damit umgehen. Selbst ein einziger Fingerabdruck auf dem Quarz kann dazu führen, dass es zu Hotspots kommt – und das wiederum führt zu einem vorzeitigen Verschleiß der Lampen.
Halten Sie die Lampen sauber, dann liefern sie weiterhin eine konstante Leistung über Tausende von Zyklen hinweg.