Hören Sie auf, Ihre Geräte zu erhitzen – eine intelligentere Methode zum Trocknen von MEMS-Wafern
Wenn man MEMS-Sensorwafern trocknen will, muss zunächst die Feuchtigkeit beseitigt werden. Aber das Problem ist: Die meisten Menschen versuchen, dies, indem sie alles um sich herum erhitzen.
Die übliche Konvektionsheizung oder omnidirektionale Heizung verwandelt Ihr teures Halbleitergerät in einen riesigen Ofen. Die Innenwände saugen die gesamte Wärme auf – das ist ein Albtraum. Dadurch entstehen „heiße Wände“, die den Bediener verbrennen können oder die internen Dichtungen beschädigen. Es ist einfach chaotisch.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: direktionale Infrarot-Heizung.
Wie es funktioniert
Stellen Sie sich das wie eine Taschenlampe vor – nur dass dabei Wärme erzeugt wird. Anstatt die Luft zu erwärmen und darauf zu hoffen, dass die Wafer dadurch heiß werden, strahlen die IR-Lampen elektromagnetische Strahlung direkt auf die Oberfläche der Wafer ab. Durch die Auswahl der richtigen Wellenlängen – meist kurze oder mittellange Wellen – trifft die Energie direkt auf die Wafer sowie die flüssigen Rückstände. Sie wandert nicht weiter und erwärmt somit den Rest des Geräts nicht. Wir verwenden Quarzgehäuse und Reflektoren, um den Strahl genau dorthin zu lenken, wo er benötigt wird.
Die Herausforderungen
Um die Wafer schnell trocknen zu können, braucht man viel Leistung in einem sehr kleinen Raum. Eine hohe thermische Dichte ist zwar gut für die Beschleunigung des Prozesses – doch das hat auch seine Nachteile. Die Hochleistungs-Lampen werden an ihren Enden extrem heiß. Wenn man sie einfach anschließt, ohne zu prüfen, ob die Verkabelung und Stecker die benötigte Stromstärke aushalten können, können die Steckdosen schmelzen. Das ist ein häufiger Fehler.
Auch wenn der Strahl direktional ist, muss man die Kühlfans so positionieren, dass sie die Wärme von den Enden der Lampen wegziehen. Das dürfen Sie auf keinen Fall vergessen.
Ein sichererer Arbeitsplatz für Ihr Team
Das Beste daran: Der „Ofeneffekt“ innerhalb der Kammer verschwindet. Da die Wände keine überschüssige Wärme aufnehmen, bleibt die Außenseite der Maschine kühl. Man muss keine schweren Wärmeschutzsysteme verwenden, und die Techniker müssen keine Angst haben, verbrannt zu werden, wenn sie zur Wartung in die Maschine gehen.
Es handelt sich dabei einfach um eine andere Denkweise: Statt den ganzen Raum zu erhitzen, sollte man nur die betroffene Stelle erhitzen.