ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেসিস্ট বেকিংয়ের সময় ০.১°C এর মতো তাপমাত্রা-পরিবর্তনই ওভারলে ও CD-এর ইউনিফর্মিটি নষ্ট করে দেয়। এমন ঘটনা ঘটলে ঘন্টার পর ঘন্টা ধরে করা লিথোগ্রাফি কাজগুলো নষ্ট হয়ে যায়। তাই আমরা ল্যাম্পের জন্য SCR পাওয়ার রেগুলেটর তৈরি করেছি; যাতে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণে থাকে—শিফট খানেক পর পর, বছর খানেক ধরে।
প্রযুক্তিগতভাবে যা গুরুত্বপূর্ণ…
আমরা সিলিকন-কন্ট্রোল্ড রেক্টিফায়ার ব্যবহার করি; এর মাধ্যমে ল্যাম্পের ফিডব্যাক নিয়ন্ত্রণ করা হয়। এর ফলে লাইন ভোল্টেজ পরিবর্তিত হলেও আউটপুট স্থিতিশীল থাকে। বেকিং প্রক্রিয়ায় তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যেই থাকে; ফলে সফ্ট/হার্ড বেকিং প্রক্রিয়াগুলো নির্ভরযোগ্যভাবে চলে।
এটি ক্লাস ১–১০০ ক্লিনরুমে ব্যবহারের জন্য তৈরি করা হয়েছে; এখানে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না, আর গ্যাস নির্গমনও নেই। পাওয়ার ফ্যাক্টর করেকশন ও দক্ষ সুইচিংয়ের ফলে শক্তি সাশ্রয় হয়; আর ল্যাম্পটি দ্রুত তাপ-পরিবর্তন সহ্য করতে পারে, কোনো ক্ষতি না হয়।
ওয়েফার প্রক্রিয়ায় এটি কেন কার্যকর?
তাপীয় ইউনিফর্মিটিই CD-এর নিয়ন্ত্রণ ও উৎপাদন ক্ষমতাকে নিয়ন্ত্রণ করে। SCR রেগুলেটরের ফলে ল্যাম্পের তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকে; ফলে ফটোরেসিস্টের প্রোফাইলগুলো প্রতিটি লটেই একই থাকে। এর ফলে প্রক্রিয়াটি অপেক্ষাকৃত সহজ হয়, রিওয়ার্কের পরিমাণ কমে যায়, আর নষ্ট হওয়া ওয়েফারের পরিমাণও কমে যায়।
এটি ৭×২৪ ঘণ্টা কাজ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে—কোনো অপ্রত্যাশিত বন্ধ নেই, দীর্ঘ সার্ভিস ইন্টারভ্যাল রয়েছে, আর ৫,০০০+ ঘণ্টা ধরে আউটপুট স্থিতিশীল থাকে। বাস্তবে, এর ফলে অতিরিক্ত ইনভেন্টরি না রেখেই উচ্চতর উৎপাদন সম্ভব হয়।
কিছু ব্যবহারিক নোট:
এই ইউনিটটির জন্য পৃথক, পরিষ্কার বিদ্যুৎ সরবরাহ ও সঠিক গ্রাউন্ডিং প্রয়োজন; যাতে EMI ও লাইন ট্রানজিয়েন্টগুলো প্রভাব ফেলতে না পারে। যদি আপনি এটিকে পুরানো বেকিং সিস্টেমের সাথে ইন্টিগ্রেট করছেন, তাহলে আপনার নির্দিষ্ট ল্যাম্প লোডের জন্য PID কনস্ট্যান্টগুলো সামঞ্জস্য করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত ট্রায়াল করা উচিত।
কোয়ালিফিকেশন প্রক্রিয়া মাত্র এক দিনেই সম্পন্ন হয়। প্রথম ওয়েফার লটে সিস্টেমটি তাপীয়ভাবে স্থিতিশীল হওয়ার জন্য সামান্য সময় লাগবে। একবার সামঞ্জস্য হয়ে গেলে, কম হস্তক্ষেপেই প্রক্রিয়াটি চলতে থাকে।