http://top-quartz-ir.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Top-Rated Quartz IR Lamps Hugo zh Fri, 17 Jul 2026 07:07:53 +0800 http://top-quartz-ir.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Fri, 17 Jul 2026 07:07:53 +0800 http://top-quartz-ir.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://top-quartz-ir.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <h1 id="停止使用传统加热方式更聪明的mems晶圆干燥方法">停止使用传统加热方式：更聪明的MEMS晶圆干燥方法</h1> <p>在干燥MEMS传感器晶圆时，我们的目标就是去除其中的湿气。但问题在于，大多数人会选择通过加热整个设备来实现这一目的。<br> 传统的对流式或全方位加热方式，其实相当于把昂贵的半导体加工设备变成了一个巨大的烤箱。设备的内部墙壁会吸收大量热量，这显然不是什么好事。这样的情况下，设备内部的壁面会变得过热，甚至可能烧伤操作人员或损坏设备中的密封部件。真是糟糕透顶。<br> 我们找到了一种更好的方法：<strong>定向红外加热</strong>。</p>