Cảm biến nhiệt độ cho thiết bị wafer

Wed, 03 Jun 2026 12:23:02 +0800

Trên dây chuyền, tấm wafer 300 mm đó đang nằm chờ bước soft bake để thiết lập kiểm soát kích thước đường nét của bạn. Một sự cố 2°C trong hồ sơ nhiệt của hotplate? Đó đủ để làm thay đổi kích thước quan trọng hơn 1 nm, và mỗi chu trình bị lệch là một lô hàng nữa bị loại bỏ. Chúng tôi thiết kế cảm biến nhiệt độ cho thiết bị wafer của mình chính xác cho môi trường này, nơi ngân sách nhiệt không phải là đề xuất—mà là giới hạn nghiêm ngặt.

Đèn quartz hồng ngoại cho wafer

Tue, 02 Jun 2026 06:05:19 +0800

Trên sàn lithography, một biến thiên 0,3°C trong quá trình nướng photoresist là yếu tố biến một chu trình kiểm soát thành phế phẩm. Ngân sách nhiệt của wafer không thể thương lượng—bạn hoặc giữ nguyên, hoặc trả giá. Chúng tôi thiết kế đèn quartz hồng ngoại dựa trên thực tế đó, vì quy trình đòi hỏi nhiệt độ ổn định, không ngoại lệ.

Điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng bộ phát quartz hồng ngoại sóng ngắn để truyền năng lượng nhanh và trực tiếp với phản hồi dưới một giây. Trên toàn bộ wafer, độ đồng đều nhiệt giữ trong ±0,1°C, và khả năng lặp lại chu trình giữ trong ±0,5°C. Thân đèn và thiết kế phản xạ được kỹ thuật hóa để giảm nhiệt tản và bóng che, giúp hồ sơ nhiệt khớp với vùng mẫu. Công suất ổn định từ 200°C đến 650°C với kiểm soát phổ hẹp, bảo vệ nguyên vẹn photoresist trong cả giai đoạn soft bake và hard bake. Kết cấu phù hợp với phòng sạch giữ mức sinh hạt thấp, phù hợp môi trường Class 1–100.

Bánh Wafer on Top-Rated Quartz IR Lamps

Cảm biến nhiệt độ cho thiết bị wafer

Đèn quartz hồng ngoại cho wafer