Trên dây chuyền, tấm wafer 300 mm đó đang nằm chờ bước soft bake để thiết lập kiểm soát kích thước đường nét của bạn. Một sự cố 2°C trong hồ sơ nhiệt...

Trên sàn lithography, một biến thiên 0,3°C trong quá trình nướng photoresist là yếu tố biến một chu trình kiểm soát thành phế phẩm. Ngân sách nhiệt...