Trong quá trình nung phim quang học, sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,1°C cũng đủ để làm sai lệch độ đồng nhất của lớp phủ trên wafer. Chỉ cần một lần như vậy thôi, hàng giờ lao động trong quá trình sản xuất sẽ bị lãng phí. Vì vậy, chúng tôi đã chế tạo bộ điều chỉnh công suất dành cho bóng đèn, nhằm duy trì nhiệt độ ổn định – ngay cả sau nhiều ca làm việc liên tục, qua nhiều năm liền.
Về mặt kỹ thuật, điều quan trọng là phải duy trì nhiệt độ ổn định. Chúng tôi sử dụng mạch điều khiển bằng rectifier kiểm soát bằng silic, kết hợp với hệ thống phản hồi từ bóng đèn. Điều này giúp duy trì đầu ra ổn định ngay cả khi điện áp dao động. Giá trị nhiệt độ được kiểm soát trong khoảng ±0,1°C, giúp quy trình nung diễn ra ổn định.
Thiết bị này được thiết kế để hoạt động trong môi trường phòng sạch cấp độ 1–100, với mức độ phát sinh hạt và khí thải bằng không, đáp ứng các tiêu chuẩn khắt khe. Việc điều chỉnh hệ số công suất và khả năng chuyển mạch hiệu quả giúp giảm chi phí năng lượng. Bóng đèn cũng có thể chịu được những dao động nhiệt độ lớn mà không bị nứt hay tách rời.
Tại sao phương pháp này lại hiệu quả trong quy trình xử lý wafer? Đó là vì độ đồng nhất về nhiệt độ là yếu tố quyết định chất lượng wafer. Khi bộ điều chỉnh SCR giúp giữ nhiệt độ bóng đèn ổn định, các thông số liên quan đến lớp phim quang học cũng sẽ ổn định từ lô này sang lô khác. Điều này giúp quy trình sản xuất diễn ra ổn định, giảm thiểu việc phải làm lại sản phẩm và giảm lượng phế liệu.
Độ tin cậy của thiết bị được đảm bảo thông qua việc vận hành 24/7, không có thời gian ngừng máy bất ngờ, với thời gian sử dụng lên đến 5.000 giờ trở lên. Trên thực tế, điều này giúp tăng hiệu suất sản xuất mà không cần phải dự trữ nhiều linh kiện dự phòng.
Một vài lưu ý thực tế: Thiết bị cần nguồn điện sạch và hệ thống nối đất tốt, để tránh nhiễu điện từ và các dao động điện áp. Nếu bạn muốn tích hợp thiết bị này vào hệ thống hiện có, hãy dành một chút thời gian để điều chỉnh các thông số PID phù hợp với tải trọng bóng đèn của bạn.
Quá trình kiểm tra chất lượng có thể hoàn thành trong một ngày. Chỉ cần chờ một khoảng thời gian ngắn để hệ thống ổn định về mặt nhiệt độ. Sau khi được điều chỉnh, quy trình sản xuất sẽ diễn ra ổn định mà không cần can thiệp nhiều.