Trong quy trình sản xuất, việc sấy ở chế độ mềm và chế độ cứng không chỉ đơn thuần là các bước gia nhiệt thông thường. Đó là những điểm kiểm soát quan trọng trong quy trình sản xuất; một sự thay đổi nhiệt độ chỉ 2°C cũng có thể làm mất kiểm soát độ dày của lớp vật liệu được xử lý. Ống tia hồng ngoại bằng thạch anh trong suốt với công suất 2700W giúp duy trì mức nhiệt ổn định, từ đó đảm bảo chất lượng sản phẩm.
Về mặt kỹ thuật, điều quan trọng là khả năng phản ứng nhanh và tính lặp lại của thiết bị. Ống tia hồng ngoại này sử dụng tia hồng ngoại bước sóng ngắn thông qua lớp vỏ thạch anh trong suốt, giúp thiết bị phản ứng nhanh, với độ trễ nhiệt thấp và khả năng tập trung nhiệt cao. Với công suất 2700W, thiết bị có thể tạo ra mật độ nhiệt cần thiết để nâng nhiệt độ nhanh chóng, đồng thời duy trì mức nhiệt ổn định.
Trên thực tế, điều này có nghĩa là nhiệt độ trên bề mặt wafer phải được duy trì ở mức ±0.1°C, và quy trình sấy phải được lặp lại một cách nhất quán từ lô này sang lô khác. Lớp vỏ thạch anh trong suốt này phù hợp với môi trường vệ sinh cấp độ 1–100; bề mặt của nó không tạo ra các hạt bụi và không giải phóng chất hữu cơ vào buồng xử lý.
Điều này rất quan trọng trong quy trình in ấn phẳng. Việc sấy ở chế độ mềm đúng cách sẽ loại bỏ các chất dung môi mà không làm hư hại bề mặt wafer. Việc sấy ở chế độ cứng đúng cách sẽ chuẩn bị bề mặt wafer cho quá trình khắc hoặc gieo trồng các chất khác nhau, mà không gây ra hiện tượng tái chảy vật liệu. Với công suất 2700W, quy trình sấy sẽ diễn ra ổn định, thời gian xử lý giảm đi, và lượng sản phẩm bị hỏng do sự biến đổi nhiệt độ cũng giảm xuống.
Kết quả là hiệu suất sản xuất tăng lên, số lần phải làm lại sản phẩm giảm đi, đồng thời mức năng lượng tiêu thụ trên mỗi wafer cũng giảm xuống. Nhờ đó, việc kiểm soát độ chính xác của kích thước wafer trở nên dễ dàng hơn, và các sai số do sự không đồng đều về nhiệt độ cũng giảm đi.
Một vài chi tiết thực tế cần lưu ý: cần phải điều chỉnh ống tia hồng ngoại sao cho phù hợp với cấu trúc của bộ phản xạ ánh sáng và khả năng điều chỉnh PID của bộ điều khiển. Nếu bộ phản xạ ánh sáng không phù hợp, sẽ tạo ra các điểm nóng; còn nếu bộ điều khiển không được điều chỉnh đúng cách, quá trình sấy sẽ không ổn định. Cần kiểm tra xem điện áp và kết nối giữa ống tia hồng ngoại và thiết bị có phù hợp hay không, đồng thời cần có biện pháp bảo vệ chống tĩnh điện trong quá trình lắp đặt.
Những ống tia hồng ngoại này có tuổi thọ hữu hạn khi hoạt động liên tục, vì vậy cần thiết lập khoảng thời gian thay thế phù hợp. Điều này giúp tránh tình trạng máy móc ngừng hoạt động bất ngờ và đảm bảo quy trình sản xuất diễn ra ổn định.