لیتھوگرافی کے عمل میں، فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران 1°C کا فرق بالکل بھی “چھوٹا فرق” نہیں ہے؛ یہ تو پیداواری صلاحیت پر اثر ڈالنے والا عنصر ہے۔ ویفروں کے لئے درجہ حرارت کا کنٹرول بہت اہم ہے، اور اگر کیبنٹ کا ہیٹر درجہ حرارت کو مستحکم نہ رکھ سکے، تو اس سے خرابیاں پیدا ہوتی ہیں۔ ہم نے اس کیمیکل کیبنٹ ہیٹر کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ یہ کیبنٹ کے حالات کے مطابق کام کرے، یعنی درجہ حرارت کو عمل کے مطابق مستحکم رکھے، نہ کہ کمرے کے مطابق۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
یہ ہیٹر کوارٹز کے آورنمنٹ میں موجود شارٹ- ویو انفراریڈ عناصر کے ذریعے کام کرتا ہے؛ اس کی وجہ سے ردِعمل تیز ہوتا ہے اور حرارتی جمود کم ہوتا ہے۔ کیبنٹ کے اندر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر ہی رہتا ہے، اور اس کی تکراری صلاحیت اتنی اچھی ہے کہ مختلف بیچوں میں درجہ حرارت میں کوئی فرق نہیں آتا۔ کلین روم کے تقاضوں کو پورا کرنے کے لئے کلاس 1-100 کے مطابق مواد استعمال کیا گیا ہے، اور اس سے گیسوں کا اخراج کم ہوتا ہے۔ یہ ہیٹر کیبنٹ کے کنٹرول سسٹم سے جڑتا ہے، اور 24 گھنٹے مستحکم درجہ حرارت فراہم کرتا ہے، جس سے درجہ حرارت میں کوئی تغیر نہیں آتا۔
کیوں یہ کیمیکل کیبنٹ میں کام کرتا ہے؟
کیبنٹ میں، یہ ہیٹر فوٹوریزسٹ اور دیگر مواد کو بالکل اسی درجہ حرارت پر رکھتا ہے جو عمل کے لئے ضروری ہے۔ اس درستگی کی وجہ سے وارم اپ کا وقت کم ہوتا ہے، اہم پیرامیٹرز کا کنٹرول بہتر ہوتا ہے، اور حرارتی عدم استحکام کی وجہ سے پیدا ہونے والی خرابیاں کم ہوتی ہیں۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ سسٹم جلد ہی مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے، جس سے سہولیات پر بوجھ کم ہوتا ہے۔ قابل اعتمادی کی وجہ سے عمل میں کم رکاوٹیں پیش آتی ہیں، مرمت کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور ویفروں کی پیداواری رفتار مستحکم رہتی ہے۔
عملی تفصیلات:
نصب کرتے وقت کیبنٹ کی ہوا کے بہاؤ اور ایگزاسٹ سسٹم کو مدِ نظر رکھنا ضروری ہے۔ جب ریسرکیولیشن مناسب ہو اور وینٹس کا سائز مناسب ہو، تو یہ ہیٹر بہتر طریقے سے کام کرتا ہے۔ یہ زیادہ تر کیبنٹ پلیٹ فارمز پر کام کرتا ہے، لیکن اگر آپ کے پاس پرانے کنٹرول سسٹم ہیں، تو آپ کو ضرور عملی طور پر اس کی جانچ کرنی ہوگی۔ PID پروفائل کو ایڈجسٹ کرنے میں تقریباً ایک دن کا وقت لگتا ہے۔ اس کے بعد، عمل میں تکراری صلاحیت برقرار رہتی ہے۔