Як нагрівати кремнієві пластини, не пошкодивши чисту кімнату
Коли ви працюєте у чистій кімнаті класу 100, навіть одна дрібна частинка пилу може стати причиною серйозних проблем. Якщо ви нагріваєте кремнієві пластини, не можна допускати витоку матеріалів чи газів у повітря. Стандартні елементи нагріву? Забудьте про них – вони виділяють частинки, а в таких умовах це прийнятно не є.
Тож ми використовуємо інфрачервоні лампи з високочистим синтетичним кварцем. Секрет полягає саме у кварці. Ми використовуємо спечений кремнезем з майже нульовою кількістю домішок. Чому? Тому що коли все нагрівається, не потрібно, щоб хімічні речовини вивільнялися. Кварцова оболонка функціонує як щільний захист для тунгстенової нитки. Вона запобігає її реакції з повітрям, тож металеві оксиди не потрапляють на пластину.
Але є одна складність – відстань між лампою та пластиною. Якщо лампу розмістити занадто близько, це може пошкодити пластину чи створити „гарячі точки“. Якщо ж лампа знаходиться занадто далеко, енергія буде марнуватися на нагрівання повітря в кімнаті. Ми використовуємо лампи з короткохвильовим інфрачервоним випромінюванням – це більш ефективний спосіб, адже тепло потрапляє безпосередньо на пластину, а не нагріває всю кімнату.
Ще кілька порад: Ці лампи мають велику потужність. Через це час нагрівання є дуже коротким. Але це створює великий тиск на джерело живлення. Обов’язково перевірте проводку та з’єднувачі. Якщо вони не розраховані на таку потужність, вони можуть згоріти.
Також пам’ятайте, що високочистий кварц є крихким. Не варто з ним недбало поводитися. Якщо під час встановлення лампи будете дуже агресивні, можуть з’явитися мікротріщини. Спочатку їх можна не помітити, але коли лампа почне циклізуватися, вона може зламатися.
Як забезпечити повну чистоту? Щоб уникнути будь-якого забруднення, ми видалили всі органічні з’єднувачі та клеї. Усе, що є в конструкції лампи, є неорганічним. Це дуже важливо – таким чином не буде жодного періоду „випаровування“ речовин. Під час першого увімкнення лампи не буде жодних клопітних летких органічних сполук у чистій кімнаті. Просто підключіть лампу, налаштуйте відстань та можете починати працювати.