Fabrika zemininde, 0.2°C’lik bir kayma bile kritik boyutları değiştirebilir ve birçok wafer’ı hurda yığınına gönderebilir. Bu değişkenliği ortadan kaldırmak için yarı iletken temiz oda arabası ısıtıcısını geliştirdik. Teknik olarak önemli olan, yük üzerindeki sıcaklık birliği—±0.1°C—ve hem yumuşak pişirme hem de sert pişirme profilleri için tekrarlanabilir sıcaklık kontrolüdür. Isıtıcı, parçacık üretimini mümkün olduğunca sıfıra indirmek için kapalı elemanlar ve HEPA sınıfı malzemeler ile temiz oda uyumlu, alçak profilli bir mimari kullanır. Hava akışı laminer olup, turbulent değildir; bu sayede yakınlardaki litografi aletlerini sarsmaz veya wafer yüzeyinin kirlenme riskini artırmaz. Kontrol döngüsü, kapı açıldıktan sonra hızlı bir şekilde stabilize olacak şekilde ayarlanmıştır; çünkü hat değişimleri termal stabilite için beklemez. İşte bu yüzden önemli yerlerde işe yarıyor. Isıtıcı, arabada oturur ve wafer’ları sıcak plakaya gitmeden önce önceden sıcaklıklandırır. Bu, pozlama ve pişirme sürecine girerken kararlı bir termal bütçe sağlar, yeniden işleme sayısını azaltır ve CD kontrolünü sıkılaştırır. Temiz oda uyumluluğu—Sınıf 1 ile 100 arasında derecelendirilmiş malzemeler ve kaplamalar—parçacık sayısını azaltır ve verimi korur. Ayrıca, araba ısının tutulmasını sağladığı için enerji tasarrufu yaparsınız; ana fırın üzerine her ısınma için güvenmemiş olursunuz. Birkaç pratik not. Kurulum, mikro titreşimi ve elektrik gürültüsünü kontrol sensörüne bağlanmaktan korumak için özel bir temiz enerji kaynağı ve uygun topraklama gerektirir. Ayak izi kompakt, ancak hava akış yollarının etrafında boşluk bırakılmalıdır; aksi takdirde, birliktelik bozulur. Ve araba seviyesinde rutin kalibrasyon planlayın. En iyi ısıtıcı bile belirli bir ölçüm penceresi olmadan zamanla kayma yapar.